Kerámia fűtőberendezések

A félvezető gyártás előlapja (FEOL), aostyaKülönböző folyamatkezeléseknek kell alávetni, különösen az ostyát egy bizonyos hőmérsékleten kell melegíteni, és szigorú követelmények vannak, mivel a hőmérséklet egységessége nagyon fontos hatással van a termék hozamára; Ugyanakkor a félvezető berendezéseknek vákuum, plazma és kémiai gázok jelenlétében kell működniük, ami kerámia fűtőberendezések használatát igényli.Kerámia fűtőberendezéseka félvezető vékonyréteg -lerakódási berendezések fontos alkotóelemei. Ezeket a folyamatkamrában használják, és közvetlenül érintkezzenek az ostyával, hogy hordozzák, és lehetővé tegyék az ostya számára, hogy stabil és egységes folyamat hőmérsékletet kapjon, és nagy pontossággal reagáljon a ostya felületén, hogy vékony fóliákat generáljon.

Mivel a kerámia fűtőberendezések által használt vékony fóliós lerakódási berendezések magas hőmérsékleteket foglalnak magukban, általában az alumínium -nitrid (ALN) alapú kerámia anyagokat használják. Mivel az alumínium -nitrid elektromos szigeteléssel és kiváló hővezető képességgel rendelkezik; Ezenkívül hőtágulási együtthatója közel áll a szilíciumhoz, és kiváló plazmaránossággal rendelkezik, nagyon alkalmas félvezető berendezés -alkatrészként történő felhasználásra.

Az elektrosztatikus chuck -okat (ESC) főként maratási berendezések, főleg alumínium -oxid (AL2O3) használják. Mivel maga az elektrosztatikus chuck is tartalmaz egy fűtőt, és példaként a száraz maratást veszi fel, egy bizonyos maratási tulajdonság fenntartása érdekében a ostyát egy adott hőmérsékleten -70 ℃ ~ 100 ℃ tartományban kell szabályozni. Ezért az ostyát az elektrosztatikus chuck melegíteni vagy eloszlatni kell, hogy pontosan ellenőrizze a ostya hőmérsékletét. Ezenkívül az ostya felületének egységességének biztosítása érdekében az elektrosztatikus Chuck -nak gyakran meg kell növelnie a hőmérséklet -szabályozó zónát, hogy az egyes hőmérséklet -szabályozó zónák hőmérsékletét külön -külön szabályozzák, hogy javítsák a folyamat hozamát. Természetesen a technológia fejlesztésével a hagyományos kerámia melegítők és az elektrosztatikus chuckok közötti különbség elmosódni kezdett. Néhány kerámia fűtőberendezésnek a magas hőmérsékletű fűtési és elektrosztatikus adszorpció kettős funkciói vannak.

A kerámia fűtőberendezés tartalmaz egy kerámia alapot, amely az ostyát hordozza, és egy hengeres tartótestet, amely a hátulját támogatja. A kerámia alap felületén vagy a felszínén, az ellenállás elem (fűtési réteg) mellett a fűtéshez is van egy rádiófrekvenciás elektróda (rádiófrekvenciás réteg). A gyors fűtés és hűtés elérése érdekében a kerámia alap vastagságának vékonynak kell lennie, de a túl vékonynak is csökkenti a merevséget. A fűtőberendezés tartó testülete általában olyan anyagból készül, amelynek hőtágulási együtthatója hasonló az alaphoz, tehát a tartótest gyakran alumínium -nitridből is készül. A fűtőberendezés az alján egy tengely (tengely) ízület egyedi szerkezetét fogadja el, amely megvédi a csatlakozókat és a vezetékeket a plazma és a korrozív kémiai gázok hatásaitól. A fűtőkészülék egyenletes hőmérsékletének biztosítása érdekében hővezetési gázbemeneti és kimeneti csövet biztosítanak a tartó testületben. Az alapot és a tartó testületet kémiailag ragasztják egy kötőréteggel.

A Semicorex kiváló minőségűkerámia fűtőberendezések- Ha bármilyen kérdése van, vagy további részletekre van szüksége, kérjük, ne habozzon kapcsolatba lépni velünk.

KAPCSOLATOS telefonszám # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com