Félvezető zuhanyfejek

Agázelosztási lemez, amelyet gyakran "zuhanyfejnek" neveznek, hasonlíthat egy hagyományos zuhanyfejre, de ára eljuthat a százezrekbe, ami lényegesen magasabb, mint egy tipikus fürdőszoba zuhany.

A gázelosztási lemez felülete több száz vagy akár több ezer apró, pontosan elrendezett lyukkal rendelkezik, amelyek egy finoman szövött ideghálózatra emlékeztetnek. Ez a kialakítás lehetővé teszi a gázáramlás és az injekciós szögek pontos szabályozását, biztosítva, hogy az ostya -feldolgozási terület minden részét egyenletesen „fürdsék” a folyamatgázban. Ez nem csak javítja a termelés hatékonyságát, hanem javítja a termékminőséget is.

A gázelosztási lemez szerves része a kulcsfontosságú folyamatoknak, például a tisztításhoz, a maratáshoz és a lerakódáshoz. Közvetlenül befolyásolja a félvezető folyamatok pontosságát és a végtermékek minőségét, így kritikus elemévé válik a különféle gázelosztási alkalmazásokban.

A ostya reakció eljárása során azuhanyfejsűrűn van borítva mikropórusokkal (0,2-6 mm rekesz). A pontosan megtervezett csatornaszerkezeten és a gázúton keresztül a speciális folyamatgáznak át kell mennie az egységes gáztáblán lévő kis lyukak ezrein, majd egyenletesen letétbe kell helyeznie az ostya felületére. A filmrétegnek az ostya különböző területein kell biztosítani a magas egységességet és következetességet. Ezért a tisztaság és a korrózióállóság rendkívül magas követelményein kívül a gázelosztási lemez szigorú követelményekkel rendelkezik a kis lyukak rekeszének konzisztenciájára a gázelosztási lemezen és a kis lyukak belső falán lévő burrák. Ha a rekesz méret -toleranciája és a konzisztencia standard eltérése túl nagy, vagy bármely belső falon vannak burrák, akkor a lerakódott filmréteg vastagsága eltérő lesz, ami közvetlenül befolyásolja a berendezés eljárási hozamát.

A gázelosztó lemez anyaga néha törékeny anyag (például egykristályos szilícium, kvarc üveg, kerámia), amelyet könnyű megtörni a külső erő hatására. Ez egy ultra mély lyuk is, a mikropória átmérőjének 50-szerese, és a vágási helyzetet nem lehet közvetlenül megfigyelni. Ezenkívül a vágási hő nem könnyű továbbítani, és a chip eltávolítása nehéz, és a fúróbit könnyen megszakad a forgács elzáródása miatt. Ezért a feldolgozása és az előkészítés nagyon nehéz.

Ezenkívül a plazmával segített folyamatokban (például PECVD és száraz maratás) az elektróda részeként a zuhanyfejnek egységes elektromos mezőt kell létrehoznia egy RF tápegységen keresztül, hogy elősegítse a plazma egyenletes eloszlását, ezáltal javítva a maratás vagy lerakódás egységességét.

Mivel a félvezető gyártási folyamatban alkalmazott gázok magas hőmérsékleten, magas nyomáson vagy korrozívak lehetnek, a zuhanyfej általában korrózióálló anyagokból készül. A tényleges termelésben, a különféle felhasználási forgatókönyvek és a szükséges pontosság miatt, a gázelosztási lemezt a következő két kategóriába lehet osztani, az anyag összetétele szerint:

(1) Fémgáz -elosztó lemez

A fémgáz -elosztó lemezek anyagai között szerepelnek alumíniumötvözet, rozsdamentes acél és nikkelfém, amelyek közül a legszélesebb körben használt fémgáz -elosztó lemez anyag az alumíniumötvözet, mivel jó hővezető képességgel és erős korrózióállósággal rendelkezik. Széles körben elérhető és könnyen feldolgozható.

(2) Nem fémes gázelosztási lemez

A nem fémes gázelosztó lemezek anyagai közé tartozik az egykristályos szilícium, a kvarcüveg és a kerámia anyagok. Közülük a leggyakrabban használt kerámia anyagok a CVD-SIC, az alumínium-oxid kerámia, a szilícium-nitrid kerámia stb.

A Semicorex kiváló minőségűCVD SIC zuhanyfejekA félvezető iparban. Ha bármilyen kérdése van, vagy további részletekre van szüksége, kérjük, ne habozzon kapcsolatba lépni velünk.

KAPCSOLATOS telefonszám # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com