itthon > hírek > Ipari hírek

Mi az epitaxiális wafer folyamat?

2023-04-06

Az epitaxiális ostyaeljárás kritikus technika a félvezetőgyártásban. Ez magában foglalja egy vékony kristályanyagréteg növekedését a hordozó tetején, amelynek kristályszerkezete és orientációja megegyezik a hordozóéval. Ez az eljárás kiváló minőségű interfészt hoz létre a két anyag között, amely lehetővé teszi a fejlett elektronikus eszközök fejlesztését.

Az epitaxiális ostyaeljárást különféle félvezető eszközök, köztük diódák, tranzisztorok és integrált áramkörök gyártására használják. Az eljárást jellemzően kémiai gőzfázisú leválasztással (CVD) vagy molekuláris nyaláb epitaxiás (MBE) technikákkal hajtják végre. Ezek a technikák magukban foglalják az anyagatomok lerakódását a hordozó felületére, ahol kristályos réteget képeznek.


Az epitaxiális ostya eljárás összetett és precíz technika, amely szigorú ellenőrzést igényel különféle paraméterek, például hőmérséklet, nyomás és gázáramlási sebesség felett. Az epitaxiális réteg növekedését gondosan ellenőrizni kell, hogy biztosítsuk a kiváló minőségű, alacsony hibasűrűségű kristályszerkezet kialakulását.


Az epitaxiális ostyafolyamat minősége kritikus az így létrejövő félvezető eszköz teljesítménye szempontjából. Az epitaxiális rétegnek egyenletes vastagságúnak, alacsony hibasűrűségűnek és nagy tisztaságúnak kell lennie az optimális elektronikus tulajdonságok biztosítása érdekében. Az epitaxiális réteg vastagsága és adalékolási szintje pontosan szabályozható a kívánt tulajdonságok, például vezetőképesség és sávszélesség elérése érdekében.


Az utóbbi években az epitaxiális lapka-eljárás egyre fontosabbá vált a nagy teljesítményű félvezető eszközök gyártásában, különösen a teljesítményelektronika területén. A megnövelt hatékonyságú és megbízhatóságú, nagy teljesítményű eszközök iránti kereslet vezérelte a fejlett epitaxiális ostyafolyamatok kifejlesztését.


Az epitaxiális lapka-eljárást fejlett érzékelők fejlesztésében is használják, beleértve a hőmérséklet-, gáz- és nyomásérzékelőket. Ezekhez az érzékelőkhöz speciális elektronikus tulajdonságokkal rendelkező, kiváló minőségű kristályos rétegekre van szükség, ami az epitaxiális wafereljárással érhető el.