Szilícium karbid ostyacsónak

Az ostya gyártásának minden magas hőmérsékletű folyamata mögött egy csendes, mégis döntő játékos fekszik: az ostyacsónak. Mint az a maghordozó, amely közvetlenül érintkezik a szilícium ostyával az ostya feldolgozása során, az anyag, stabilitás és tisztaság közvetlenül kapcsolódik a végső forgácshozamhoz és a folyamat stabilitásához. A különféle hordozóanyagok között,Szilícium -karbid (sic)A hajók fokozatosan helyettesítik a hagyományos kvarc megoldásokat, és a fejlett folyamatok és a csúcskategóriás felszerelések preferált megoldása lesz.

Miért SIC ostyacsónakok?

A folyamatcsomópontok 7nm alatti előrehaladásával és a magas hőmérsékletű folyamatablakok kibővítésével a hagyományos kvarc ostyacsónakok egyre inkább küzdenek a hőstabilitás, a részecske-szabályozás és az élettartam kezelése szempontjából.

A szilícium -karbid ostyacsónakok azonban a következő előnyök miatt fokozatosan kiemelkednek:

1.Stable magas hőmérsékleten:

Hosszú távú, 1350-1600 ° C-os működési hőmérsékletet kínálnak, könnyen kezelhetők a mainstream folyamatok, például a CVD, a diffúzió és az izzítás. Még az 1800 ° C hőmérsékletének rövid expozíciója sem mutat lágyítást vagy deformációt, így alkalmassá teszi azokat magasabb kategóriájú berendezésekre, például egykristályos szilícium-karbid-kemencékre.

2.A tágulás és a nagy hőkapás stabilitásának csökkentése:

Alacsony hőtágulási együtthatóval ellenállnak a gyors hőmérséklet -növekedésnek és csökkennek, minimalizálva a termikus feszültség által okozott szerkezeti repedést. Kiváló morfológiát és teljesítményt tartanak fenn a magas hőmérsékletű, komplex atmoszférákban (például hidrogén, nitrogén, ammónia és fluoridok).

3.Ly Clean felület és rendkívül alacsony szennyeződés:

Magas anyagi tisztaság minimális fém szennyeződésekkel. Alacsony felületi érdesség, megakadályozva a szilícium ostyák másodlagos szennyeződését; Kiváló felületi érdesség -szabályozás, a RA 0,1 μm alatt, elnyomja a részecskék leválasztását és megfelel a fejlett folyamatok tiszta szobájának követelményeinek;

4. Egyrészes öntés, a precíziós maró ostyacsónak-szerkezetek közvetlenül a penész nélküli révén alakíthatók ki3D -s nyomtatás, kiküszöböli a formák szükségességét, jelentősen javítva a testreszabási hatékonyságot; Az öt tengelyes megmunkálási és drótvágó technológiával kombinálva a hajó fogai burr-mentesek, megakadályozva az ostyák karcolásait és biztosítva a sima automatizált kezelést;

5. Nagy erő és hosszú élet: 

Az egyetlen hajó nagy teherbíró erővel büszkélkedhet, és egyidejűleg támogathatja a tucatnyi és több száz 12 hüvelykes ostyát. A hagyományos kvarc csónakokkal összehasonlítva a hajó átlagos élettartama 5-10-szer hosszabb, csökkentve a berendezések átváltásának gyakoriságát és a tulajdonosi költségeket.

Alkalmazási forgatókönyv

ASzilícium karbid ostyacsónakokBővíti alkalmazásukat a félvezető mezőn túl sokféle magas hőmérsékleti folyamat forgatókönyveire, beleértve az új energiaanyagokat, a LED gyártást és az atomenergia-kutatást.

Félvezető ipar

Ez olyan kulcsfontosságú folyamatokhoz alkalmas, mint az oxidáció, a diffúzió, a CVD lerakódás és az ionimplantáció, ezáltal nélkülözhetetlen magas hőmérsékletű hordozóvá válik a 7NM alsó folyamatvonalakhoz.

Fotovoltaikus ipar

A feltörekvő akkumulátor-technológiákban, mint például a TopCon és a HJT, az ostyacsónakokat használják olyan magas hőmérsékletű kemence-folyamatokban, mint például az LPCVD és az izzítás, elősegítik az energiahatékonyság és az átalakítási arány javítását.

Harmadik generációs félvezetők

A LED -ekben a GaN és a SIC epitaxiális növekedési folyamatokhoz támogatják a zafír vagy a szilícium -karbid szubsztrátokat. Ellenállnak a korrozív gázoknak, például az NH₃-nak és a HCL-nek, támogatva a magas frekvenciájú teljesítményű eszközök gyártását.

Új energiaanyagok és kutatás magas hőmérsékletű platform

Támogatja a lítium akkumulátor -katód anyagok szinterelési reakcióját és a nukleáris ipari anyagok hőkezelését, kombinálva a hőállóságot, a korrózióállóságot és a tisztaságot.

A Semicorex nagy tisztaságúTestreszabott SIC ostyacsónakok- Ha bármilyen kérdése van, vagy további részletekre van szüksége, kérjük, ne habozzon kapcsolatba lépni velünk.

KAPCSOLATOS telefonszám # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com