Mi a fókuszgyűrűk funkciója?

A fókuszgyűrűk a félvezető maratási folyamatok egységességének és stabilitásának biztosításához elengedhetetlenek. Az elektromos és termikus mezők precíz szabályozásával a fókuszgyűrűk a plazmát a lapka felületére koncentrálhatják, így biztosítva a konzisztens marási eredményt a lapka minden pontján.

A fókuszgyűrűk funkciói

1. Javítsa a maratási egyenletességet

A maratási folyamat során a fókuszgyűrűk koncentrálhatják a plazmát aostyafelület, amely hatékonyan garantálja az egyenletes plazmasűrűséget, az ionbombázási szöget és az energiaszinteket mind az ostya szélén, mind a középső régiókban. Korrigálja az elektromos téreloszlást a lapka szélén, csökkentve a maratási sebességet, a kritikus méretet és az élhatások okozta morfológiai eltéréseket, így biztosítva a maratási konzisztenciát a lapka teljes felületén. Ha a fókuszgyűrű túlságosan elhasználódott, vagy nincs fókuszgyűrű, a plazma kidiffundál a lapka széléről, ami végső soron nem megfelelő eltéréseket okoz a vonal szélességében az él és a középső régiók között.

2. Védje az elektrosztatikus tokmányt

A fókuszgyűrűket általában az elektrosztatikus tokmány lapkahordozó felületén kívül helyezik el, közvetlenül plazmabombázásnak és korróziónak kitéve. Ez a szerelési beállítás fizikai akadályként szolgál, hogy megakadályozza a plazma érintkezését az elektrosztatikus tokmányokkal a maratási folyamat során, ezáltal jelentősen csökkentve a plazmakárosodás kockázatát. A fókuszgyűrűk azt is megakadályozhatják, hogy a maratási folyamat során keletkező melléktermékek az elektrosztatikus tokmányokhoz tapadjanak, így elkerülhető a tokmány szennyeződése és eltömődése által okozott teljesítményromlás. Ez nagymértékben meghosszabbítja az elektrosztatikus tokmány karbantartási ciklusát és élettartamát, csökkentve a berendezések karbantartási és csereköltségeit.

A fókuszgyűrűk általában nagy tisztaságúakkvarc, szilíciumésszilícium-karbidanyagokat. Kiváló, átfogó teljesítményüknek köszönhetően a szilícium-karbid anyagok fokozatosan a legmodernebb maratási folyamatok fő alternatíváivá válnak. Megbízható félvezető fókuszgyűrű-szállítóként Kínában a Semicorex kiváló minőséget kínálszilícium-karbid fókuszgyűrűkkülönböző méretűek, hogy megfeleljenek a maratóberendezések különböző követelményeinek. A Semicorex bármikor szívesen fogadja kérdéseit és vásárlásait.