Szilícium-karbid ipar

A szilícium-karbid ipar folyamatok láncolatát foglalja magában, amelyek magukban foglalják a szubsztrátum létrehozását, az epitaxiális növekedést, az eszköztervezést, az eszközgyártást, a csomagolást és a tesztelést. A szilícium-karbidot általában ingot formájában állítják elő, amelyet azután felszeletelnek, csiszolnak és políroznak, hogyszilícium-karbid hordozó. A szubsztrát az epitaxiális növekedési folyamaton megy keresztül, hogy létrehozzon egyepitaxiális ostya. Az epitaxiális lapkát ezután különféle lépéseken keresztül, például fotolitográfiával, maratással, ionimplantációval és leválasztással egy eszköz létrehozására használják. Az ostyákat szerszámokra vágják és kapszulázzák, hogy megkapják az eszközöket. Végül az eszközöket egy speciális házban kombinálják és modulokká szerelik össze.

A szilícium-karbid ipari lánc értéke elsősorban az upstream szubsztrátumra és az epitaxiális kapcsolatokra összpontosul. A CASA adatai szerint a szubsztrát a szilícium-karbid eszközök költségének körülbelül 47%-át, az epitaxiális kapcsolat pedig 23%-át teszi ki. A gyártás előtti költség a teljes költség 70%-át teszi ki. Másrészt a Si-alapú eszközök esetében az ostyagyártás a költségek 50%-át, az ostyahordozó pedig csak a költségek 7%-át teszi ki. Ez kiemeli az upstream szubsztrátum és az epitaxiális kapcsolatok értékét a szilícium-karbid eszközök számára.

Annak ellenére, hogy aszilícium-karbid hordozóésepitaxiálisAz árak viszonylag drágák a szilícium ostyához képest, a nagy hatásfok, a nagy teljesítménysűrűség és a szilícium-karbid eszközök egyéb jellemzői vonzóvá teszik őket a különböző iparágak számára, beleértve az új energetikai járműveket, az energetikát és az ipari szektorokat. Ezért a szilícium-karbid eszközök iránti kereslet várhatóan gyorsan növekszik, ami a szilícium-karbid különböző területeken történő elterjedését fogja ösztönözni.