A kvarc különféle alkalmazásai a félvezetőgyártásban

Első pillantásra,kvarc (SiO2) anyagnagyon hasonlít az üvegre, de a különlegessége az, hogy a közönséges üveg sok összetevőből áll (például kvarchomok, bórax, bórsav, barit, bárium-karbonát, mészkő, földpát, szóda stb.), míg a kvarc csak SiO2, és mikroszerkezete egy egyszerű hálózat, amely szilícium-dioxid tetraéderes szerkezeti egységekből áll.

Mivel a benne lévő fémszennyeződések mennyiségekvarcnagyon kicsi, tisztasága rendkívül magas, magának a kvarcnak olyan tulajdonságai és előnyei vannak, amelyeket más üvegek nem mutathatnak, és az üveganyagok "koronája" néven ismert. Például hőállóság szempontjából a kvarc akkor sem fog felrobbanni, ha a tűzben vörösre égetés után azonnal vízbe teszik. A konkrétabb előnyök a következők:

1. Magas hőmérséklet-állóság. A kvarcüveg lágyuláspontja körülbelül 1730 ℃, és hosszú ideig használható 1150 ℃-on, és a maximális hőmérséklet rövid ideig elérheti az 1450 ℃-ot.

2. Korrózióállóság. A hidrogén-fluorid kivételével a nagy tisztaságú kvarc szinte semmilyen kémiai reakciót nem folytat más savas anyagokkal. Magas hőmérsékleten ellenáll a kénsav, salétromsav, sósav, aqua regia, semleges sók, szén és kén okozta korróziónak. Savállósága 30-szorosa a kerámiáénak és 150-szerese a rozsdamentes acélnak. Főleg kémiai stabilitása magas hőmérsékleten páratlan más mérnöki anyagokkal.

3. Jó hőstabilitás. A nagy tisztaságú kvarc nagyon kicsi hőtágulási együtthatóval rendelkezik, és ellenáll a drasztikus hőmérsékletváltozásoknak. Ha a nagy tisztaságú kvarcot körülbelül 1100 °C-ra hevítik, akkor szobahőmérsékletű vízbe helyezve nem fog felrobbanni.

4. Jó fényáteresztő képesség. A nagy tisztaságú kvarc jó fényáteresztő képességgel rendelkezik a teljes spektrumban az ultraibolya-tól az infravörösig, és a látható fény áteresztőképessége meghaladja a 93%-ot, különösen az ultraibolya spektrum régiójában, a maximális áteresztőképesség elérheti a 80%-ot is.

5. Jó elektromos szigetelési teljesítmény. A nagy tisztaságú kvarc ellenállási értéke 10 000-szerese a közönséges kvarcüvegének. Kiváló elektromos szigetelőanyag, magas hőmérsékleten is jó elektromos tulajdonságokkal rendelkezik.

Ezeknek a kiváló fizikai és kémiai tulajdonságoknak köszönhetően a nagy tisztaságú kvarc anyagokat széles körben használják a modern elektronikai technikában, félvezetőkben, kommunikációban, elektromos fényforrásokban, napenergiában, nagy pontosságú honvédelmi mérőműszerekben, laboratóriumi fizikai és kémiai műszerekben, atomenergiában, nanoipar, stb. Különösen a gyorsan fejlődő félvezetőiparban nőtt a szilícium lapkák mérete, így a chipgyártóknak nagy az igényük a különféle kvarc alkatrészekre. Figyelembe kell azonban venni azt is, hogy a feldolgozási folyamat során a szennyeződés elkerülése érdekében a használat során biztosítani kell a kvarcanyag nagy tisztaságát.

A félvezető iparbankvarcszéles körben használják, és a nagy tisztaságú kvarc termékek fontos fogyóeszközök az ostyagyártásban. A szilícium egykristályok előállításához használt kvarc alkatrészeknek, például olvasztótégelyeknek, kristálycsónakoknak és diffúziós kemencemagcsöveknek nagy tisztaságú kvarcüveg termékeket kell használniuk. A kvarc alkatrészek fő célpiaci alkalmazása a félvezető területen az ostyaöntödében végzett diffúziós és maratási folyamat. Két kategóriába sorolhatók: magas hőmérsékletű zóna eszközök és alacsony hőmérsékletű zóna eszközök. A főbb használt eszközök a következők:

1. A magas hőmérsékletű zónaeszközök főként kemencecsövek, üvegcsónakok stb., amelyeket diffúziós oxidációban és egyéb összeköttetésekben használnak, amelyeknek magas hőmérsékletű környezetben közvetlenül vagy közvetve érintkezniük kell szilícium lapkákkal; főként olvasztott kvarcüveg anyagokat vásárolnak, és hőkezeléssel állítják elő;

2. Az alacsony hőmérsékletű zónás készülékek főként a maratási folyamatban használt kvarcgyűrűket, valamint a tisztítási folyamatban használt virágkosarakat és tisztítótartályokat tartalmazzák. Főleg alacsony hőmérsékletű környezetben használják. Főleg gázfinomított kvarcüveget vásárolnak, és hidegfeldolgozással állítják elő.

A Semicorex kiváló minőséget kínálkvarc alkatrészekfélvezető szinten. Ha kérdése van, vagy további részletekre van szüksége, kérjük, ne habozzon kapcsolatba lépni velünk.

Telefonszám: +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com