Mik a száraz és nedves marattatás előnyei és hátrányai?

1. Mi az a száraz és nedves maratás?

A száraz maratás olyan technika, amely nem használ folyadékot, ehelyett plazmát vagy reaktív gázokat használnak a szilárd anyag maratására az ostya felületén. Ez a módszer nélkülözhetetlen a legtöbb chip-termék, mint például a DRAM és a Flash memória gyártásánál, ahol nem lehet nedves maratást alkalmazni. A nedves maratáshoz viszont folyékony vegyi oldatokat használnak a szilárd anyag maratására az ostya felületén. Bár nem általánosan alkalmazható minden chip-termékre, a nedves maratást széles körben használják ostyaszintű csomagolásban, MEMS-ben, optoelektronikai eszközökben és fotovoltaikában.

2. Mik a száraz és nedves maratás jellemzői?

Először is tisztázzuk az izotróp és anizotróp maratás fogalmát. Az izotróp maratás olyan maratási sebességre utal, amely ugyanazon a síkon minden irányban egyenletes, hasonlóan ahhoz, ahogy a hullámok egyenletesen terjednek, amikor egy követ nyugodt vízbe dobnak. Az anizotróp maratás azt jelenti, hogy a maratási sebesség ugyanazon a síkon különböző irányokban változik.

A nedves maratás izotróp. Amikor az ostya érintkezésbe kerül a maratási oldattal, lefelé marat, miközben oldalsó maratást is okoz. Ez az oldalsó maratás befolyásolhatja a meghatározott vonalszélességet, ami jelentős maratási eltérésekhez vezethet. Így a nedves maratást nehéz pontosan szabályozni az alakzatok maratásához, így kevésbé alkalmas 2 mikrométernél kisebb jellemzőkre.

Ezzel szemben a száraz maratás lehetővé teszi a maratási forma pontosabb szabályozását, és rugalmasabb maratási módszereket kínál. A száraz maratással izotróp és anizotróp maratást is elérhetünk. Az anizotróp maratással kúpos (90 fokos szög) és függőleges profilokat (szög ≈90 fok) lehet létrehozni.

Összefoglalva:

1.1 A száraz maratás előnyei (pl. RIE)

Irányítottság: Magas irányítottság érhető el, ami függőleges oldalfalakat és magas képarányt eredményez.

Szelektivitás: A maratási szelektivitást optimalizálhatja meghatározott maratógázok és paraméterek kiválasztásával.

Nagy felbontás: Alkalmas finom elemekhez és mély árok maratásához.

1.2 A nedves maratás előnyei

Egyszerűség és költséghatékonyság: A maratófolyadékok és berendezések általában gazdaságosabbak, mint a száraz maratáshoz használtak.

Egyenletesség: Egyenletes maratást biztosít az egész ostyán.

Nincs szükség összetett felszerelésre: Általában csak merítőfürdőt vagy centrifugáló berendezést igényel.

3. Választás a száraz és a nedves maratás között

Először is, a forgácstermék technológiai követelményei alapján, ha csak a száraz maratással lehet elvégezni a maratási feladatot, válassza a száraz maratást. Ha a száraz és a nedves maratás is teljesíti a követelményeket, akkor költséghatékonysága miatt általában a nedves maratás részesítendő előnyben. Ha a vonalszélesség vagy a függőleges/kúpos szögek pontos szabályozására van szükség, válassza a száraz maratást.

Bizonyos speciális szerkezeteket azonban nedves maratással kell maratni. Például a MEMS-ben a maratott szilícium fordított piramisszerkezete csak nedves maratással érhető el.**