Miért válassza a SiC bevonatú grafit szuszceptorokat?

Grafit szuszceptora MOCVD berendezés egyik lényeges része, az ostyahordozó hordozója és melegítője. Az ostya epitaxiális növekedésének minőségében meghatározó szerepet játszik hőstabilitási és termikus egyenletességi tulajdonságai, amelyek közvetlenül meghatározzák a réteganyagok egyenletességét és tisztaságát, így minősége közvetlenül befolyásolja az epitaxia készítését. Eközben a felhasználások számának növekedésével és a munkakörülmények változásával nagyon könnyen elveszhet, és a fogyóeszközök közé tartozik. A grafit kiváló hővezető képessége és stabilitása jó előnyt jelentMOCVD berendezések alapkomponense. Ha azonban csak tiszta grafitot használnak, akkor bizonyos problémákkal kell szembenéznie. A gyártási folyamat során korrozív gáz és fém szerves maradványok keletkeznek, a grafit alapja pedig korrodálódik és lehullik a por, ami nagymértékben csökkenti a készülék élettartamát.grafit szuszceptor, és a lehullott grafitpor is szennyeződést okoz a forgácson, így az alap előkészítési folyamatában is Ezeket a problémákat az alap elkészítése során kell megoldani. A bevonat technológia biztosítja a felületi porrögzítést, javítja a hővezető képességet és kiegyenlíti a hőeloszlást, ami a probléma megoldásának fő technológiája lesz. A fő technológia ennek a problémának a megoldása. Az alkalmazás környezetének és követelményeinek megfelelőengrafit szuszceptorok, a felületi bevonatnak a következő jellemzőkkel kell rendelkeznie.

Nagy sűrűség és teljes burkolás: a grafit alap egésze magas hőmérsékletű, korrozív munkakörnyezetben van, a felületet teljesen be kell burkolni, míg a bevonatnak jó sűrűségűnek kell lennie ahhoz, hogy jó védő szerepet töltsön be.

Jó felületi síkság: Mivel az egykristály növesztéshez használt grafit alap nagyon nagy felületi síkságot igényel, ezért a bevonat elkészítése után is meg kell őrizni az alap eredeti síkságát, azaz a bevonat felületének egyenletesnek kell lennie.

Jó kötési szilárdság: A grafit alap és a bevonóanyag közötti hőtágulási együttható különbségének csökkentése hatékonyan javíthatja a köztük lévő kötési szilárdságot, és a bevonatot nem könnyű megrepedni magas és alacsony hőmérsékletű termikus ciklusok után.

Magas hővezető képesség: A jó minőségű forgácsnövekedés gyors és egyenletes hőt igényel a grafit alaptól, ezért a bevonóanyagnak magas hővezető képességgel kell rendelkeznie.

Magas olvadáspont, magas hőmérsékletű oxidáció és korrózióállóság: A bevonatnak stabilan kell működnie magas hőmérsékleten és korrozív munkakörnyezetben.