Izzítási eljárások a modern félvezetőgyártásban

Mivel a technológiai csomópontok folyamatosan zsugorodnak, az ultrasekély csomópontok kialakulása jelentős kihívásokat jelent. Termikus izzítási eljárások, beleértveGyors hőkezelés (RTA)és a villanólámpás hőkezelés (FLA) olyan létfontosságú technikák, amelyek fenntartják a szennyeződések magas aktiválási arányát, miközben minimalizálják a diffúziót, biztosítva az eszköz optimális teljesítményét.

1. Ultra-sekély csomópontképződmény:

Ahogy a technológiai csomópontok zsugorodnak, az ultrasekély csomópontok kialakítása egyre nagyobb kihívást jelent. Olyan technikák, mint a gyors termikus lágyítás (RTA) és a villanólámpa lágyítás (FLA) kulcsfontosságú a szennyeződések magas aktiválási arányának eléréséhez, miközben minimalizálja a diffúziót, ezáltal biztosítva az eszköz optimális teljesítményét.

2. High-k Gate dielektrikumok módosítása:

A leválasztás utáni lágyítás (PDA) jelentősen javítja a nagy k-értékű gate dielektrikumok elektromos tulajdonságait. Ez a folyamat csökkenti a kapu szivárgási áramait és növeli a dielektromos állandókat, amelyek létfontosságúak a fejlett logikai és memóriaeszközök számára.

3. Fém-szilicidek képződése:

A fém-szilicidek, például a CoSi és a NiSi optimalizálása elengedhetetlen az érintkezési és tömegállóság javításához. Az izzítási körülmények pontos szabályozása megkönnyíti az ideális ötvözetfázisok létrehozását, növelve az eszköz általános hatékonyságát.

4. 3D-s integrációs technológiák:

Az olyan technológiákban, mint a 3D NAND és a 3D DRAM, a lágyítási folyamatokat több rétegben kell alkalmazni. A gyors hőtechnikák kulcsszerepet játszanak abban, hogy minden réteg optimális teljesítményt érjen el.

Az izzítás kritikus fontosságú a félvezetőgyártásban, lehetővé téve a rácssérülések kijavítását, a szennyeződések aktiválását, a filmmódosítást és a fém-szilicid képzést a hőmérséklet, az idő és a hőköltség precíz szabályozása révén. Ahogy a technológiai csomópontok zsugorodnak, a fejlett lágyítási módszerek, mint plRTA, FLA és lézeres tüskés lágyítás általánossá vált. A jövőre nézve az izzítási folyamat továbbra is megújul, hogy megfeleljen a feltörekvő anyagok és eszközök igényeinek.

A Semicorex iparágvezető terméket kínállágyító oldatok, biztosítva, hogy félvezető eszközei precízen és megbízhatóan megfeleljenek a legmagasabb teljesítmény szabványoknak.

Ha kérdése van, vagy további részletekre van szüksége, kérjük, ne habozzon kapcsolatba lépni velünk.

Telefonszám: +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com