A Semicorex PBN Ceramic Disc-jét bonyolult kémiai gőzfázisú leválasztási (CVD) eljárással szintetizálják bór-triklorid (BCl3) és ammónia (NH3) felhasználásával, magas hőmérsékleten és alacsony nyomáson. Ez a szintézismódszer kivételes tisztaságú és szerkezeti integritású anyagot eredményez, ami nélkülözhetetlenné teszi a félvezetőipar számos alkalmazásában.**
A PBN Ceramic Disc egyik legjelentősebb előnye a kiemelkedően magas tisztaság. A szintézis során használt gáznemű anyagok (BCl3 + NH3 -> BN + HCl) tisztasága messze meghaladja a hagyományos bór-nitrid porokét. Következésképpen a PBN kerámia tárcsa 99,99%-os tisztasági szintet ér el, és az összes szennyeződés kevesebb, mint 100 ppm (ppm). Ez a kivételes tisztaság kulcsfontosságú a félvezetőgyártásban, ahol a legkisebb szennyeződés is az elektronikai alkatrészek meghibásodásához vezethet. Az ilyen nagy tisztaság biztosításával a PBN Ceramic Disc minimálisra csökkenti a szennyeződés kockázatát, ezáltal növeli a félvezető eszközök megbízhatóságát és teljesítményét.
A PBN Ceramic Disc gyártása során alkalmazott CVD eljárás szinte tökéletes réteges szerkezetet kölcsönöz neki. Ez az egyedülálló szerkezet elősegíti az anizotróp hővezető képességet, amely tulajdonság rendkívül előnyös a kemencékben és a vákuumrendszerekben használt alkatrészek számára. Az anizotróp hővezető képesség lehetővé teszi a PBN Ceramic Disc számára, hogy hatékonyan kezelje a hőelosztást, egyenletes hőmérsékletszabályozást biztosítva a lemez felületén. Ez a képesség elengedhetetlen azokban a félvezetőgyártási folyamatokban, amelyek precíz hőkezelést igényelnek, hogy megakadályozzák a termikus gradienseket, amelyek az alkatrészek meghibásodásához vagy hatékonyságának csökkenéséhez vezethetnek.
Hőállóság tekintetében a PBN Ceramic Disc példaértékű anyagként tűnik ki. Vákuumos környezetben 1800°C-ig, nitrogénben pedig 2000°C-ig képes ellenállni anélkül, hogy olvadáspontja lenne. Ez a rendkívüli hőstabilitás ideális választássá teszi kemenceelemekhez és olvasztóedényekhez, ahol a szélsőséges hőmérsékletek a működés rutinszerű részét képezik. A szerkezeti integritás ilyen magas hőmérsékleten való megőrzése hosszú élettartamot és megbízhatóságot biztosít, csökkenti a gyakori cserék szükségességét, és ezáltal csökkenti az általános működési költségeket.
A kémiai tehetetlenség a PBN Ceramic Disc másik jellemzője. Ellenáll az anyagok széles körével való reakcióknak, beleértve a savakat, lúgokat, szerves oldószereket, olvadt fémeket és grafitot. Ez a tehetetlenség különösen előnyös a félvezetőgyártásban, ahol gyakori a reaktív anyagoknak való kitettség. Azáltal, hogy nem reagál, a PBN Ceramic Disc elkerüli a nem kívánt kémiai kölcsönhatásokat, amelyek veszélyeztethetik a félvezető alkatrészek integritását és működését.
A PBN Ceramic Disc alkalmazásai a félvezetőiparban változatosak és hatásosak. Tulajdonságai miatt ideális anyag a különféle magas hőmérsékletű és nagy tisztaságú környezetekben való használatra. Az epitaxiális növekedési folyamatokban például a korong kulcsfontosságú eleme a leválasztó rendszereknek, ahol tisztasága és hővezető képessége biztosítja a kiváló minőségű félvezető rétegek előállítását. Ezenkívül a LED-ek és más optoelektronikai eszközök gyártása során a PBN Ceramic Disc stabil és megbízható platformot biztosít, amely támogatja az eszköz optimális teljesítményének eléréséhez szükséges bonyolult folyamatokat.
Sőt, a PBN Ceramic Disc szerepe kiterjed a teljesítményelektronikai eszközök gyártására is. Ezek az eszközök gyakran magas hőmérsékleten működnek, és olyan anyagokat igényelnek, amelyek képesek fenntartani a teljesítményt ilyen körülmények között. A PBN Ceramic Disc kiváló termikus és kémiai tulajdonságai miatt megfelelő választás lehet az erősáramú elektronikai rendszerek hordozóihoz és egyéb alkatrészeihez, hozzájárulva ezen eszközök hatékonyságához és tartósságához.
Bór-nitrid szerkezetek