PBN kompozit melegítők

A SEMICOREX PBN kompozit fűtőkészülékek egyesítik a pirolitikus grafit kiváló termikus vezetőképességét a pirolitikus bór -nitrid kémiai tehetetlenségével és elektromos szigetelésével. Ezeket a fűtőberendezéseket egy nagyon magas tisztaságú grafitból és PBN -ből építették, amelyet magas színvonalú CVD (kémiai gőzlerakódás) eljárás alkalmazásával alkalmaznak, nagy tisztaságú lerakódási körülmények között. Minden egyes eredményrétegt nagyon szélsőséges kontrollálhatósággal helyeztek el, hogy ultra nagy tisztaság és következetes termikus tulajdonságok biztosítsa. A grafitmag, amely gyors és egyenletes fűtést biztosít az egészben, védi az oxidációtól és a PBN kapszulával történő szennyeződéstől; Ez lehetővé teszi a fűtőberendezést ideálissá a vákuumgáz -környezethez és az inert gázkörnyezetekhez. Ezeket a PBN fűtőberendezéseket célzottan tervezték MBE (molekuláris sugár epitaxi) reaktorok, CVD reaktorok és más kristálynövekedési rendszerek használatára.

A pirolitikus bór-nitrid-pirolitikus grafit (PBN-PG) kompozit fűtőberendezés olyan fűtés, amely nagy nyomáson (CVD) alacsony nyomású hőkezelő kémiai gőzlerakódást (CVD) használ (10torr) és magas hőmérsékletet használ a vezetőképes PG bevonására. Ennek a kompozit fűtésnek a fő alkotóelemei a pirolitikus bór -nitrid (PBN) és a pirolitikus grafit (PG). Kiváló korrózióállóságának és magas hőmérsékleti ellenállása miatt főként félvezető szubsztrát -melegítéshez használják (MBE -ben, MOCVD -ben, porlasztási bevonat stb.); szupravezető szubsztrát fűtése; minta melegítése a minta elemzése során; Elektronmikroszkópos minta fűtése; fémmelegítés; fém párologtatási fűtési forrás stb.

A PBN fűtőberendezések vákuumban akár 1600 ° C -ig terjedő működési hőmérsékleteket képesek ellenállni, és jobb képességgel rendelkeznek, hogy ellenálljanak a termikus sokknak az esetleges fém alapú alternatívákkal szemben, amelyekre támaszkodna. A fűtőberendezés felülete rendkívül sima és sűrű, és működés közben szignifikánsan kevesebb részecskéket eredményez, ami kritikus jelentőségű az olyan alkalmazások szempontjából, ahol a szennyeződés nem tolerálható, például a félvezető ostya feldolgozása.

A kompozit szerkezet kiváló termikus egységességet biztosít a fűtőkészülék felületén, és ellenállási útjai testreszabhatók a testreszabott hőeloszlás lehetővé tétele érdekében. Ez a kialakítás lehetővé teszi a gyors felhajtási és hűtési ciklusokat a feldolgozás során repedés és delaminálás nélkül, a használt anyagok azonos hőtágulási együtthatói miatt. Az elektródák képesek ellenállni a folyamatos nagy áramú működésnek, és vákuumban is kompatibilisek.

A Semicorex korlátlan tervezési rugalmasságot biztosít az egyedi formákhoz, mérethez és energiaigényhez, ha szükséges, hogy kielégítse az alkalmazási igényeket; Legyen szó a szokásos ostyaméretekről, akár a bonyolultabb geometriákról, garantáljuk a dimenziós pontosságot és a termikus egységességet minden előállított egységben.

A PBN kompozit fűtőberendezések tökéletesek ultra-tiszta alkalmazásokhoz, ideértve a következőket is:

• MBE rendszerek III-V és II-VI vegyület félvezető feldolgozásához
• Vákuumbevonórendszerek optikai alkatrészekhez
• Kristálynövekedési rendszerek a zafír és a sic számára
• Nagyszerű termikus feldolgozás kutatási és fejlesztési laboratóriumi környezetekhez.