PBN -kereszteződések

A Semicorex pirolitikus bór-nitrid PBN-kereszteződések precíziós formájú alkatrészek, amelyek célja a magas hőmérsékletű és ultra-tiszta folyamatok szigorú igényeinek kielégítése az iparágakban, mint például a félvezető gyártás, a kristálynövekedés és a vákuum alkalmazások. A kémiai gőzlerakódás (CVD) eljárása révén előállított PBN -keresztesítőelemek kiváló tisztaságot, kivételes hőstabilitást és kiemelkedő kémiai inertitást kínálnak, így a fejlett anyagok tervezésében választott anyag.

Mivel a bór -nitrid termikus tágulási együtthatója összehasonlítható a kvarchoz, de a termikus vezetőképessége az utóbbi 10 -szerese, kiváló hőhatású ellenállással rendelkezik, ami csökkentheti a repedés kockázatát a gyors hőmérsékleti változások miatt, és többször is ciklusba kerülhet 20 ~ 1200 ℃ -nél, problémák nélkül. Ezenkívül a bór -nitrid nem reagál savakkal, lúgokkal, üveggel és a legtöbb fémekkel, és alacsony mechanikai szilárdsággal rendelkezik, csak valamivel magasabb, mint a grafit, de magas hőmérsékleten nem lágyul meg terhelés alatt, és általános fémfeldolgozó gépekkel feldolgozható. Ezért valóban tégely, edény, folyékony fémszállítási cső és penészként történő felhasználásra alkalmas acél öntéshez a fémek olvadásához és elpárologtatásához.

Általában kémiai gőzlerakódás útján készítik, bórtartalommal (BCL3 vagy B2H6) alapanyagként, de mivel a B2H6 nagyon mérgező, a BCL3-ot jelenleg alapanyagként használják. A bórtartalmú gáz pirolízisen megy keresztül (1500 ~ 1800 ℃), és reagál az NH3-tal egy magas hőmérsékletű reakciókamrában, hogy szilárd bór-nitridet képezzen. Mivel a reakció során a pirolízis bekövetkezik, azt is hívjákpirolitikus bór -nitridCRUCIBLE (közismert nevén PBN Crucibles).

Az anyag növekedési folyamata hasonló a "csökkenő hóhoz", azaz a reakcióban termesztett hatszögletű BN hópelyheket folyamatosan rakják fel a melegített grafit szubsztrátra (mag penész). Az idő múlásával az akkumulációs réteg megsegít, és PBN héjat képez. A DemOding egy független, tiszta PBN komponens, és a PBN bevonat rajta marad. Mivel a PBN -keresztezőknek nem kell átmenniük a hagyományos forró sajtó -szinterezési folyamaton, és nem kell hozzáadniuk a szinterelőszert, nagyon magas tisztaságú (több mint 99,99%), és a működési hőmérséklet vákuum alatt akár 1800 fokos, és a légköri védelem működési hőmérséklete 2100 ° C -ig érhető el (általában nitrogén vagy argon). Leginkább a párolgási/molekuláris sugár epitaxiában (MBE)/GAAS kristálynövekedésben és egyéb célokra használják.