PBN elektrosztatikus tokmány

Anyag tulajdonságaiPBNElektrosztatikus tokmány

Magas hőmérsékleti ellenállás és dielektromos szilárdság

APBNAz elektrosztatikus tokmány kivételes magas hőmérséklet-állóságáról híres, amely tulajdonság kulcsfontosságú a félvezető gyártási folyamatban. A tokmány felépítéséhez használt pirolitikus bór-nitrid (PBN) anyagának ellenállása nagyobb, mint a leggyakrabban használt kerámiáké, ami döntő fontosságú a Johnsen-Rahbek (J-R) tokmányerő 1050°C-os hőmérsékleten történő fenntartásában. Ez a nagy ellenállás és a nagy dielektromos szilárdság biztosítja, hogy az elektromos meghibásodás hatékonyan megelőzhető még intenzív hő hatására is, ezáltal növelve a tokmány működési megbízhatóságát.

Termikus egyenletesség és ütésállóság

A PBN hatszögletű rácsszerkezete, amelyet kémiai gőzleválasztással 1500°C feletti hőmérsékleten állítanak elő, hozzájárul a kiemelkedő termikus egyenletességhez és ütésállósághoz. A nagy sűrűségű fűtőelemek aPBNAz elektrosztatikus tokmány lehetővé teszi, hogy egyenletes szelet hőprofilt érjen el, 1,1–1,5%-os egyenletességgel 600–800 °C hőmérsékleten. Ezen túlmenően a PBN-alapú tokmány figyelemreméltó hősokkállóságot és alacsonyabb hőtömeget mutat, lehetővé téve a 600°C-ot 23°C/sec gyors felfutási sebességgel repedés vagy rétegvesztés veszélye nélkül.

Testreszabható többzónás fűtés

A PBN elektrosztatikus tokmány nagymértékben testreszabható, és többzónás fűtési képességekkel rendelkezik, amelyek lehetővé teszik a maximális hőmérséklet-szabályozást. Ez a testreszabási szint biztosítja, hogy minden egyes tokmány személyre szabható legyen, hogy megfeleljen az egyes ügyfelek egyedi igényeinek, rugalmas megoldást biztosítva a különböző félvezető-feldolgozási alkalmazásokhoz.

AlkalmazásaiPBNElektrosztatikus tokmány

Ionbeültetés és ostyakezelés

A PBN elektrosztatikus tokmány az előnyben részesített lapkakezelő berendezés az ionbeültetési eljárásokban. Az ostyák 1000°C feletti hőmérsékleten való megtartásának képessége az egyik legsokoldalúbb elektrosztatikus tokmány a piacon. Ezt a sokoldalúságot tovább fokozza, hogy a nagy sűrűségű, többzónás fűtőelemeknek köszönhetően az ostyákat nagyon szűk hőmérséklet-tartományban tudja tartani.

Szilícium-karbid ion beültetés

A SiC ion beültetés konkrét alkalmazásában aPBNAz elektrosztatikus tokmány életképes megoldást kínál az ostya fűtésével és kezelésével kapcsolatos kihívásokra. Kettős funkciója, beleértve a nagy tokmányerőt, a nagy fűtési teljesítményt, a jó termikus egyenletességet és a gyors reakciót, ideális választássá teszi a SiC ion beültetés összetett követelményeinek kielégítésére.

Félvezető gyártás

A PBN elektrosztatikus tokmány kritikus szerepet játszik a félvezetőgyártásban, ahol elengedhetetlen a lapka pontos kezelése és a hőmérséklet szabályozása. Magas hősokkállósága és gyors hőmérséklet-emelkedési képességei alkalmassá teszik olyan fejlett félvezető eljárásokhoz, amelyek szigorú hőmérséklet-szabályozást és gyors hőciklust igényelnek.