PBN -fűtés

A SEMICOREX pirolitikus bór-nitrid PBN-fűtés egy nagy tisztaságú, nagy teljesítményű fűtési alkatrész, amelyet olyan igényes alkalmazásokra terveztek, ahol az ultratisztító, kémiailag stabil és hőhatékony anyagok nélkülözhetetlenek. A kémiai gőzlerakódás (CVD) eljárás során gyártott PBN kivételes hővezető képességet, magas hőmérsékletű ellenállást és kiemelkedő kémiai inertitást mutat, így ideális választás a félvezető feldolgozáshoz, a kristálynövekedéshez és a vákuum alkalmazásokhoz.

A PBN fűtőberendezés olyan fűtés, amely szubsztrátként erősen szigetelő PBN-t használ, és alacsony nyomású hőbomlás kémiai gőzlerakódást (CVD) használ a vezetőképes PG bevonására alacsony nyomáson (10-Torr alatt) és magas hőmérsékleten. Ennek a kompozit fűtésnek a fő alkotóelemei a pirolitikus bór -nitrid (PBN) és a pirolitikus grafit (PG). Kiváló korrózióállóságának és magas hőmérsékleti ellenállása miatt főként félvezető szubsztrát -melegítéshez használják (MBE -ben, MOCVD -ben, porlasztási bevonat stb.); szupravezető szubsztrát fűtése; minta melegítése a minta elemzése során; Elektronmikroszkópos minta fűtése; fémmelegítés; fém párologtatási fűtési forrás stb.

A PBN inert a korrozív gázokhoz; magas tisztaságú (nagyobb, mint 99,99%); nem nedves vagy reagál a legtöbb olvadt fémkel (egy nem tapadó serpenyő jellemzői, és a fém 100%-ban használható); jó magas hőmérsékleti ellenállással rendelkezik (a maximális üzemi hőmérséklet 2000 ℃); jó sűrűség; A jó hőkancia-ellenállás és más kiváló tulajdonságok ideális anyaggá teszik a PBN-PG kompozit fűtőberendezések előállításához. A PG gyorsan melegíthető 1600 ℃ -re (inert atmoszférában és vákuumban) egy PBN -fűtésben. Ugyanakkor, a PBN jó hővezetőképességével kombinálva, a fűtési felület jó hő egységességgel rendelkezik. A kapcsolódó iparágak gyors fejlődésével a PBN-PG kompozit fűtőberendezések iránti kereslet szintén gyorsan növekedett.

A PBN fűtőberendezések különféle formákban és konfigurációkban gyárthatók, hogy megfeleljenek a konkrét tervezési és integrációs követelményeknek. A tipikus minták közé tartozik a sík fűtőberendezések, a tubuláris fűtőberendezések és az egyedi geometriák beágyazott vagy felületre szerelt fűtési elemekkel. A fűtési elemek általában pirolitikus grafitból (PG) készülnek, és PBN -be kapszuláznak, teljesen lezárt, elektromosan szigetelő és termikusan hatékony szerkezetet biztosítva.