PECVD Napelemes Grafit Hajó

SemicorexPECVD napelemes grafit csónakokprecíziós, nagy tisztaságúizosztatikus grafit. A Semicorex minden PECVD napelemes grafitcsónakja precíz megmunkáláson, méretellenőrzésen és elektromos teljesítményteszten megy keresztül, hogy biztosítsa a stabil teljesítményt magas hőmérsékletű plazmakörnyezetben.

A PECVD feldolgozás során a PECVD szoláris grafitcsónak szilícium lapkákat visz a PECVD reakciókamrába, és elektródaként szolgál az RF tápegységhez csatlakoztatva. Ha váltakozó feszültséget kapcsolunk a szomszédos hajólemezek közé, elektromos mező jön létre. Az elektromos tér hatására a reaktív gázok (például szilán SiH₂ és ammónia NH₃) izzító kisülésen mennek keresztül, és plazmát termelnek. A plazmában lévő ionok és szabad gyökök lebontják a prekurzor gázokat, szilícium (Si) és nitrogén (N) ionokat képezve. Ezek az ionok egyesülve szilícium-nitrid (Si3N4) molekulákat képeznek, amelyek azután a szilíciumlapka felületén vékony filmeket képeznek.

1. Kivételes hőstabilitás

A Semicorx hőtágulási együtthatója megközelíti a szilícium lapkákétPECVD napelemes grafit csónakhevítéskor elhanyagolható méretváltozást tapasztal, ami megbízhatóan elkerüli az ostyák termikus feszültség okozta károsodását.

2. Kiváló elektromos és hővezető képesség

A Semicorex PECVD napelemes grafit csónakok kiváló elektromos vezetőképességgel rendelkeznek, biztosítva az RF áram gyors vezetését és az egyenletes elektromos téreloszlást, ami előnyös a stabil plazmatermelés és az egyenletes szilíciumlemez lerakódás szempontjából. Ezenkívül kiváló hővezető képessége elősegíti a gyors hűtést és melegítést, javítja a termelés hatékonyságát, miközben megakadályozza, hogy a helyi túlmelegedés befolyásolja a lerakódás minőségét.

3. Erős kémiai stabilitás

A prémium minőségű anyagok felhasználásának köszönhetően a Semicorex PECVD szoláris grafitcsónak kevésbé hajlamos a reaktív gázokkal és plazmával való reakcióra. Ez a jellemző jelentősen megakadályozza a korrózió, deformáció vagy szennyeződés lerakódását okozó egyenetlen elektromos téreloszlást a grafitcsónakban, így biztosítva a leválasztási folyamat stabilitását és a szilícium lapkák felületi minőségét.

4. Kiemelkedő mechanikai szilárdság

Kiemelkedő mechanikai szilárdságával a Semicorex PECVD szoláris grafitcsónak könnyedén elbírja a nagy volumenű lapkaterhelések súlyát. Hosszú ideig ellenállnak a rakodás és szállítás során keletkező mechanikai igénybevételnek anélkül, hogy könnyen deformálódnának vagy eltörnének.

5. Kiváló méretkonzisztencia

A Semicorex PECVD szoláris grafitcsónak precíziós megmunkálással kivételes méretpontosságot ér el minden alkatrészen. Fix helyzetben tartja a szilícium ostyát a lerakás során, ami biztosítja az egyenletes lerakódást és az automatizált gyártással való kompatibilitást.