PFA ostya hordozók

Semicorex PFAOstyahordozóknagy teljesítményű hordozók, amelyeket a félvezető ostyák biztonságos kezelésére, tárolására és szállítására terveztek ultra-tiszta környezetben. A fejlett félvezetők előállítása biztosítja, hogy a PFA ostya hordozói páratlan kémiai ellenállást, hőstabilitást és részecskekontrollot kínáljanak az ostyák integritásától és tisztaságától a gyártás során a végső tesztelésig.

Az új PFA -ból készültek, ezek az ostyahordozók nagy ellenállást mutatnak a szigorú vegyi anyagokkal, például az erős savakkal, bázisokkal és oldószerekkel, amelyeket általában tisztítanak és maratáshoz használnak. A PFA nagyon alacsony ionmiskilióképessége és kimenő tulajdonságai miatt ez a fontos tiszta szobafeladatok előnyben részesített anyagát, ahol még apró mennyiségű szennyező anyag is befolyásolhatja az eszköz hozamát.

A PFA ostyahordozók tiszta helyiségekben készülnek, és az 1. osztályú (ISO 3. osztályú) tiszta szoba szabványaival dolgoznak. A PFA sima, nem tapadós felülete minimalizálja a részecskék előállítását és a tapadást, megakadályozva a maradékok vagy részecskék szennyeződését. Ezenkívül a PFA hidrofób természete megkönnyíti az alapos öblítést és a gyors száradást, tovább csökkentve a keresztszennyezés kockázatát a nedves feldolgozási lépések során.

Minden PFA ostyahordozó pontosan úgy készül, hogy a mozgás és a tartás során biztonságos és még az ostyák biztonságos és akár támogassa. A hornyolt rések kevés érintkezéssel segítik az ostyákat, csökkentve a stresszt és az ostyák szélein. A hordozók sokféle formájúak, hogy illeszkedjenek különféle méretű ostyákhoz, amelyek tartalmazzák a 100 mm, 150 mm, 200 mm és 300 mm átmérőjét. Az opcionális felsők és a szoros reteszelő módszerek extra biztonságot nyújtanak a sokkok ellen a termékek, a rezgés és a környezetnek való kitettség ellen.

Mivel a PFA kiváló hőkezelősége 260 ° C-ig, kompatibilis a magas hőmérsékletű folyamatokkal, mint például a diffúzió, az oxidáció és a CVD kémiai gőzlerakódás. A hordozó megőrzi a szerkezeti integritását ismételt hőterhelés alatt, ezért alkalmas mind a tételek, mind az automatizált feldolgozási környezethez.

A PFA ostyahordozók széles körű alkalmazásokkal rendelkeznek az ostya tisztításában, a nedves maratásban, a fotolitográfiás CMP-ben, valamint az IC gyártásban más front-end és háttér-folyamatokban. Robusztus kialakításuk és tisztaságuk miatt ideálissá teszik őket a FABS, a K + F laboratóriumok és az OEM berendezésekhez, amelyek szigorú szennyeződés -ellenőrzési protokollokat igényelnek.

TestreszabottPFA ostya hordozókFejleszthető a konkrét automatizálási követelmények, beleértve a robotkezelést, a pályarendszereket és a függőleges/vízszintes szállítást. A hordozók teljes mértékben kompatibilisek a szokásos ostyakezelő berendezésekkel és félvezető gyártó szerszámokkal.