Bolygószövetelő

A Semicorex Planetary Susceptor nélkülözhetetlen komponens a félvezető epitaxis reaktorokhoz, amelyeket kifejezetten az Aixtron G5+ berendezésekre terveztek. Nagy tisztaságú grafitból ésSzilícium -karbiddal (sic) bevonva, Ez a Susceptor garantálja a kiváló hőstabilitást, a kivételes kémiai ellenállást és a páratlan teljesítményt a magas hőmérsékletű környezetben.

Az Aixtron G5+ Epitaxy reaktor az iparágban a GaN, SIC és más vegyület félvezető növekedési folyamatainak referenciaértékeként áll. A bolygószövetség kulcsfontosságú a gázáramlás optimalizálásában, biztosítva az ostya pontos forgását, fenntartva a pontos hőmérséklet -szabályozást és az epitaxiális rétegek egyenletes lerakódásának elérését. Innovatív kialakítása jelentősen javítja a folyamat megismételhetőségét, így ideális választás a nagy mennyiségű termelési környezetben.

Kulcsfontosságú jellemzők  

- Fejlett anyagösszetétel: SIC bevonattal rendelkező, nagy tisztaságú grafitból készül, fokozott tartósságot és ellenállást biztosítva a durva folyamat körülményeivel szemben.  

- Optimalizált hőteljesítmény: Az egységes hőeloszlás biztosítása, kritikus a nagy pontosságú epitaxiális réteg növekedéséhez.  

- Kémiai ellenállás: A SIC bevonat megakadályozza a grafit oxidációját, meghosszabbítva a Susceptor élettartamát és fenntartva a folyamat tisztaságát.  

- Precíziós tervezés: Az Aixtron G5+ rendszerek szigorú követelményeinek kielégítésére tervezték, biztosítva a zökkenőmentes integrációt és az optimális reaktor hatékonyságát.  

- Magas felületi egységesség: Minimalizálja a részecskék szennyeződését, támogatva az ostya kiváló minőségét és a magasabb hozamot a félvezető gyártásában.  

Bolygó -érzékenységünk előnyei  

- Bővített szolgálati élet: ASic bevonatJelentősen csökkenti a kopást, ami alacsonyabb csere gyakoriságot és csökkentési költségeket eredményez.  

- Javított folyamat stabilitása: Biztosítja a következetes fűtést és a minimális hőgradienseket, ami magas színvonalú ostyakermelést eredményez.  

- Kompatibilitás és testreszabás: A szokásos és testreszabott tervekben kapható az Aixtron G5+ folyamatkövetelmények kielégítésére.  

GrafitAz alkatrészek nélkülözhetetlen és nagyon fontos szerepet játszanak a félvezető folyamatban. A grafit anyagok minősége nagy hatással van a késztermékek minőségére. Grafit -kötegelt következetességünk és anyagi homogenitásunk a termelési folyamat során ellenőrizhető és garantálható.

1. Kis kötegelt előállítás, a karbonizációs kemence csak egy kis kemencét használ, mindössze 50 köbméterrel

2.

3. többpontos hőmérséklet-megfigyelés a kemence területén annak biztosítása érdekében, hogy a hőmérsékleti különbség nagyon kis tartományban legyen

4. Többpontos hőmérséklet-megfigyelés az anyagon annak biztosítása érdekében, hogy a hőmérsékleti különbség nagyon kis tartományban legyen

A Semicorex Planetary Susceptor az Aixtron G5+ reaktorok prémium megoldása, kiemelkedő termikus stabilitást, kémiai ellenállást és precíziós teljesítményt kínálva. A legigényesebb félvezető gyártási folyamatokra tervezett, magasabb ostya hozamot vezet, minimalizálja a szennyeződés kockázatát és meghosszabbítja a berendezések élettartamát. Frissítse az epitaxi rendszert a legmagasabb szintű érzékenységgel a páratlan eredményekhez.