Kvarc kemence cső

Semicorex kvarc kemencecső, ostyahajók, kvarctégelyek a szilícium egykristály növekedéséhez mind nagy tisztaságúakkvarc anyagl. A kvarcot széles körben használják a félvezetőiparban, a nagy tisztaságú kvarc az ostyagyártás fontos fogyóeszköze. A kvarc alkatrészek fő célpiaca a félvezető területen a diffúziós és maratási folyamat az ostyagyártásban, két fő kategóriába sorolható: magas hőmérsékletű és alacsony hőmérsékletű alkatrészek.

1. A magas hőmérsékletű alkatrészek a kvarc kemence cső, az ostyahajó, a csónaktartó stb. Közvetlenül vagy közvetve érintkezniük kell a szilícium ostyával magas hőmérsékletű környezetben, főként olvasztott kvarcüveg anyagból készülnek, amelyet hőkezeléssel állítanak elő.

2. Az alacsony hőmérsékletű részek kvarcgyűrűk a maratási folyamatban, beleértve a kazettákat és a tisztítótartályokat a tisztítási folyamat során. Főleg alacsony hőmérsékletű környezetben használják őket, amelyek főként olvasztott kvarcüvegből készülnek, amelyet hidegfeldolgozással állítanak elő.

A magas hőmérsékletű zónában lévő komponensek gyorsabban fogyasztanak el, de jellemzően több lapkát tartalmazó rendszerekben használják (egy hordozó több szilícium ostyát tart), míg az alacsony hőmérsékletű zónában lassabban, de az egylapos rendszerekben használatosak (egy hordozó egy szilícium ostyát tart); ezért a teljes piac mérete mindkettő esetében viszonylag hasonló.

A kemence az a terület, ahol az ostyák magas hőmérsékletű hevítési folyamaton mennek keresztül, amely kvarc kemencecsőből, reaktorból és több melegítőből áll, széles körben alkalmazzák diffúziós, oxidációs, RTP folyamatokban a félvezető feldolgozásban. A kemence elsősorban vízszintes és függőleges típusokra oszlik:. Vízszintes kemencében az ostyákat egy kvarccsónakra helyezik, amelyet viszont egy SiC hordozóra helyeznek. Elöl és hátul is adaptív terelőlapok találhatók. A hordozót a kvarckemence csőbe tolják, és az ostyák állandó hőmérsékletű zónában reagálnak. Függőleges kemencében az ostyákat egy kvarc toronyra helyezik, majd lassan a kvarckemence csőbe emelik feldolgozás céljából.

A fenti folyamatokban részt vevő magas hőmérséklet miatt a kvarc kemencecső ismételt és hosszan tartó használat utáni súlyos deformációjának és összeomlásának elkerülése érdekében a gyártás során deformációnak és összeomlásnak ellenálló, hosszú élettartamú kvarc kemencecsövet kell alkalmazni.

Itt vannak az előnyeikvarckemence cső:

1. Magas hőmérséklet-állóság. A kvarcüveg lágyuláspontja körülbelül 1730 ℃, és 1150 ℃-on hosszabb ideig használható, a rövid távú maximális hőmérséklet eléri az 1450 ℃-ot.

2. Korrózióállóság. A hidrogén-fluorid kivételével a nagy tisztaságú kvarc alig lép kémiai reakcióba más savas anyagokkal. Magas hőmérsékleten ellenáll a kénsav, salétromsav, sósav, aqua regia, semleges sók, szén és kén korróziójának. Savállósága 30-szorosa a kerámiáénak és 150-szerese a rozsdamentes acélnak.  Kémiai stabilitása, különösen magas hőmérsékleten, páratlan más mérnöki anyagokkal.

3. Jó hőstabilitás. A nagy tisztaságú kvarc rendkívül alacsony hőtágulási együtthatóval rendelkezik, és ellenáll a drasztikus hőmérsékletváltozásoknak.  Ha a nagy tisztaságú kvarcot 1100 ℃ körüli hőmérsékletre hevítjük, majd szobahőmérsékletű vízbe merítjük, akkor nem fog összetörni.

4. Jó fényáteresztési teljesítmény. A nagy tisztaságú kvarc jó fényáteresztő képességgel rendelkezik a teljes spektrumban az ultraibolya sugárzástól az infravörösig. A látható fény áteresztőképessége 93% feletti, az ultraibolya spektrumban pedig a maximális áteresztőképesség elérheti a 80% fölé is.

5. Jó elektromos szigetelési teljesítmény. A nagy tisztaságú kvarc ellenállása tízezerszerese a közönséges kvarcüvegének, így kiváló elektromos szigetelőanyag, magas hőmérsékleten is jó elektromos tulajdonságokkal rendelkezik.