Kvarc folyékony tároló tartály

A Semicorex Quartz folyékony tároló tartály egy célra épített tartály félvezető nedves tiszta alkalmazásokhoz, ahol a folyadékkezelés rendkívüli szintű tisztaságot és az anyagok stabilitását igényli. Elsősorban ezt a tartályt hulladék vagy maradék folyadékok gyűjtésére használják ostya tisztító alkalmazásokból. Felbecsülhetetlen értékű a folyamat termelékenységének és a szennyeződés ellenőrzéséhez. A nedves tiszta folyamat során a félvezető ostya öblítése nagy mennyiségű ultrapure vizet vagy kémiai reagenseket foglal magában, amelyek az öblítés végén hulladék folyadékká válnak. Ezenkívül az öblítés után fennmaradó folyadékot kell összegyűjteni, mert potenciális nyom -szennyeződésekkel vagy értékes kémiai alkotóelemekkel rendelkeznek, amelyek nem menjenek le a csatornán. A hulladékfolyadékot is összegyűjteni kell, amikor a bevonat lépéseit, például fotorezisztákat alkalmaznak, ahol extra maradékokat vagy hulladék vegyi anyagot kell összegyűjteni. Így a kvarc folyékony tároló tartálynak a tökéletes eredményei vannak, hogy nagy tisztaságú, kémiai kompatibilitást és alacsony szennyezőanyag -tulajdonságokat biztosítsanak.

A tartály nagy tisztaságú, olvasztott kvarcból készül, amely nagyon rezisztens az erős savak, lúgok és oldószerek számára, amelyeket rendszeresen használnak a félvezető tisztításában és a litográfiában. Függetlenül attól, hogy egy hagyományos tartály, a kvarc adja a darabok folyékony anyagát, a legjobb esélyt adja a másodlagos szennyező anyag expozíciójának, kimosódásának vagy nem kívánt ion -expozíciójának. A kvarc folyékony tároló tartály egyik vezető szempontja az a képesség, hogy támogassák az analitikai munkafolyamatokat a félvezető fabokban, mivel a kvarc edényben összegyűjtött maradék folyadékok felhasználhatók a lefelé történő folyamatokban, például szennyeződés -észlelés, szennyeződés elemzés és kémiai újrahasznosítás. A kvarc tulajdonságainak rejlik, és biztonságosan tartalmazhat maradék folyadékokat, és lehetővé teszi a vizuális értékelést az interakció kockázata nélkül, mivel annak inertitása és átláthatósága, a termikus stabilitása mellett, amely lehetővé teszi a tartályban lévő bármilyen folyadék számára, hogy enyhén felgyorsuljon a folyamat hőmérsékletére anélkül, hogy a folyadékot lebomlik vagy befolyásolja. Ennek ellenére a kvarc folyékony tárolótartályt a hulladékgyűjtésre és a rövid távú tárolásra tervezték, mielőtt azokat átvitték vagy kezelik.

A folyamatszennyezés minden részletének minden részlete számít, különösen mivel a fejlett eszközgyártó csomópontok zsugorodnak, és a tisztasági paraméterek szigorúbbá válnak. A kvarc folyékony tárolótartály garantálja, hogy a FAB operátorok bíznak abban, hogy a hulladékgazdálkodás nem válik a másodlagos szennyeződés forrása. A maradék tisztító oldatok vagy a felesleges folyamatok folyadékának tartásával megakadályozza az upstream és a downstream munkafolyamatok érvényes végrehajtását. Ezenkívül a tartály támogatja a FAB fenntarthatósági céljait, mivel az összegyűjtött folyadékok feldolgozhatók a reagensek tisztításához és újrafelhasználásához, így egy másik kevésbé kémiai igényes eljárás alkalmazásával, és ezáltal az összességében kevesebb környezeti terhelést eredményeznek.

Gyakorlati szempontból a kvarc folyékony tároló tartály kialakítása lehetővé teszi, hogy könnyen beépíthető legyen a nedves tisztító hardverbe és a kémiai menedzsment rendszerekbe. Az űrlap tényező a meglévő szerszámkonfigurációkhoz igazítható. A precíziós gyártási módszerek biztosítják a kerek méreteket, és hogy a sima belső felület könnyen szállítsa és tárolja az összes folyadékot a félvezető fab környezetében. A nem porózus kvarcszerkezet megakadályozza a szennyező anyagok felszívódását, és lehetővé teszi a tartály tisztítását, így az újrafelhasználásra képes, ellentétben a kémiai szabályozott környezetben működő hagyományos műanyag tartályokkal, jelentős térfogati műveletekkel.

Az alsó sorban a kvarc folyékony tárolótartályt kifejezetten a félvezető nedves tisztítási és bevonási alkalmazásban tervezték. A lehető legjobb anyagi tisztaság, a kémiai ellenállás és a szennyeződésmentes folyadék tárolásának létrehozásával egy félvezető működési létesítményben a FAB -k hatékonyan képesek hatékonyan ellenőrizni folyamatukat, és kevés vagy egyáltalán nem tartják be a szennyeződést. Függetlenül attól, hogy egy FAB használja -e a tartályt közvetlen hulladékgyűjtéshez, reagens visszanyerésére stb., Vagy szennyeződés -elemzéshez, a folyamat kritikus lépéseinek története eredeti állapotban marad, anélkül, hogy veszélyeztetné a műveletet. Amikor a hozam maximalizálására törekszik, minimalizálja a munkavállalási folyamat kockázatát a stabilitás elvesztése érdekében, és maximalizálja a melléktermékek kémiai kezelésének hatékonyságát, akkor a szennyeződésmentes kvarc az egyetlen választás, amely megbízható teljesítményt nyújt minden nedves tisztítással.