A Semicorex merev szigetelés egy nagy teljesítményű, rövid rost kemény filc, amelyet kifejezetten az epitaxis berendezések termálkezelésére fejlesztettek ki. A SEMICOREX kiválasztása azt jelenti, hogy a bevált szakértelem, prémium anyagok és testreszabott megoldások kiválasztása, amelyek biztosítják a legmagasabb tisztaságot, megbízhatóságot és hatékonyságot a félvezető gyártási folyamatokhoz.*
A Semicorex merev szigetelést kifejezetten a SIC epitaxiális folyamatokhoz tervezték, egyedi összeszerelési struktúrával, nagy ellenállással, szikramegelőzéssel és jó hőszigeteléssel. A kemény filcszerkezetbe tervezett merev szigetelő anyag a kiváló mechanikai szilárdságot és a kiváló hőszigetelő tulajdonságokat ötvözi, így ideális a félvezető gyártási környezetben lévő igényes körülményekhez.
A félvezető minőségű szilícium- és szilícium-karbidot általában magas hőmérsékletű környezetben kell elkészíteni, olyan specifikus műszerek, például egykristályos szilícium-húzó kemencék és szilícium-karbid egykristályos növekedési kemencék felhasználásával, és szigorúbb követelmények vannak az előkészítési környezetre. Például a készítési hőmérséklet fenntartása és a külső szennyeződés -interferencia csökkentése. Ezért a hőkezelést úgy érezték, hogy a nagy tisztaságú szénszálból szövött, és a könnyű formázás előnyeivel, nem könnyű megszakítható, erős hőkezelési teljesítmény és alacsony szennyeződés tartalma, valódi "meleg ruházat" lett a félhordozók születése előtt.
A PAN-alapú szénszálas filc és a viszkóz-alapú szénszál, mint nyersanyagként érezhető, a merev szigetelést olyan folyamatokkal készítik el, mint például áztatás, kötés, kikeményedés, hőkezelés és megmunkálás. Széles körben használják magas hőmérsékletű berendezésekben, például porfémes ipari kemencékben, vákuum-szinteráló kemencékben, fotovoltaikus egykristályos kemencékben, polikristályos kemencékben és félvezető kristálynövekedési kemencékben. Jó kompressziós ellenállással és kiváló hőszigetelési teljesítménygel rendelkezik. A puha filchez képest a merev szigetelésnek a könnyű telepítés, a stabil méret, az alacsony hőszigetelés csillapítása és a hosszú élettartam előnyei vannak.