A Semicorex félvezető minőségű kvarc diffúziós csövek az alapvető kvarc alkatrészek, amelyek célja, hogy tiszta és stabil reakcióteret biztosítsanak a félvezető lapkák gyártásához. Kiterjedt és bizonyított gyártási képességeivel a Semicorex nagyra becsült vásárlóink számára rendkívül kompatibilis, egyedi tervezésű, félvezető minőségű kvarc diffúziós csöveket tud biztosítani.
Kvarc csónakokáltalában magas hőmérsékletű, durva kémiai korróziós üzemi körülmények között használják. A művelet során félvezető ostyákat helyeznek a kvarc csónakba és helyezik be a kvarc diffúziós csőbe. Amikor a diffúziós cső eléri a kívánt hőmérsékletet (több száz-több ezer Celsius-fok), a folyamatgázokat (pl. O2, N2, H2, Ar) és adalékgázokat (például POCl3, BBr3) vezetik be a kvarc diffúziós csőbe a gáznyílásokon keresztül, amelyek diffúziót és oxidációt hajtanak végre. Ezenkívül a diffúzió egyenletességének és pontosságának javítása érdekében bizonyos diffúziós folyamatokat alacsony nyomású környezetben kell végrehajtani.
A fejlett félvezető-gyártási eljárásokban ezekben a folyamatokban bármilyen csekély hiba vagy hiányosság a következő folyamatok kudarcához vezethet. Ezért a kvarc diffúziós csövek minősége, mint a félvezetőgyártás döntő része, jelentős jelentőséggel bír, és közvetlenül befolyásolja a félvezető eszközök hozamát és teljesítményét.
A Semicorex félvezető minőségű kvarc diffúziós csöveket aprólékosan, kiváló minőségű anyagokból gyártjákfélvezető minőségű kvarcanyag. Speciális paraméterei a következők:
A paraméterek az ügyfél igényei szerint testreszabhatók.
Tapasztalt feldolgozási technológiánkra és megbízható anyagválasztásunkra támaszkodva, Semicorex félvezető minőségűkvarc diffúziós csövekkiváló teljesítményt mutat a kihívást jelentő üzemi körülmények között:
A Semicorex félvezető minőségű kvarc diffúziós csövek figyelemre méltó magas hőmérsékleti ellenállást biztosítanak, ami lehetővé teszi, hogy stabilan működjenek magas hőmérsékletű környezetben akár 1200 ℃-ig deformáció vagy sérülés nélkül.
A kivételes hőtágulási együtthatóval büszkélkedő Semicorex félvezető minőségű kvarc diffúziós csövek képesek ellenállni a hőterhelésnek a gyors felmelegedés vagy hűtés során anélkül, hogy könnyen repednének vagy deformálódnának.
A Semicorex félvezető minőségű kvarc diffúziós csövek kiváló kémiai tehetetlenséget biztosítanak magas hőmérsékletű, durva korrozív környezetben. Ez a teljesítmény nagymértékben megakadályozza, hogy a technológiai gázokkal való reakciójuk során keletkező szennyeződések befolyásolják az ostya minőségét.