Félvezető kvarcra készültek

A Semicorex Semiconductor Quartz Crucibles a félvezető iparban a fogyóeszközök, kifejezetten a szilícium -egykristálygyártás kristályhulladék -folyamatában használt kvarc -kereszteződésekhez. Az ultra-tiszta olvasztott kvarcból készülnek, amelyek kielégítik a tisztaságot, a homogenitást és a hőállóságot, és úgy készülnek, hogy megfeleljenek a modern félvezető gyártás magas igényeinek. Ezek elengedhetetlenek a szilícium -ingot specifikációhoz, mivel attribútumuk közvetlenül befolyásolja az ostya teljesítményét és hozamát az integrált áramköri feldolgozás során.

Termikus és fizikai szempontból: A kvarcra a kereszteződések nagyon jól ellenállnak a hőnek. A deformációs pont kb. 1100 ° C, a lágyulási pont körülbelül 1730 ° C, és a maximális folyamatos szolgáltatási hőmérséklet 1100 ° C, [rövid távú expozíció 1450 ° C -ig]. Ezek a tulajdonságok lehetővé teszik a magas hőmérsékleten történő felhasználhatóságot, miközben magas tisztaságú és hőkezelő képességet biztosítanak, és ezért elősegítik a stabilitást a czochralski (CZ) kristályhúzási folyamatok során, ahol a szennyeződést és a deformációt minimalizálni kell, és a pontos hőprofilok kiemelkedő fontosak a homogén kristálynövekedés eléréséhez.

Strukturális szempontból a félvezető kvarc -kereszteződések egy réteges kompozit szerkezetből állnak, amelyet a termikus tulajdonságokhoz és a mechanikai szilárdsághoz terveztek. A kezdő (befelé mozgó) réteg egy átlátszó kvarcréteg, amely általában a fal vastagságának egyharmada (kb. 3–5 mm), és viszonylag alacsony buboréktartalommal rendelkezik (a feldolgozási technikától függően), és ezért egy sima hibamentes felület érintkezik az olvadt szilícium kvartz felületével (ez hozzájárul a krecsértés és a stabil stabil körülmények között a kristály növekedéséhez).

A külsőt rétegezve, nagyobb buborékokkal, amelyek hozzájárulnak a tégely deformációs szilárdságához, a nagyobb termikus feszültség -ellenálláshoz és a hőforrásból származó hőforrástól a sugárforrásból. A tégely rétegei lehetővé teszik a forma és az integritás fenntartását, annak ellenére, hogy a kristály húzási folyamatában létező fokú differenciális termikus gradiensek.

A modern kvarc-kerékpárok tovább fejlődtek, mint a hagyományos kétrétegű struktúra, a gyártási technológia fejlődése miatt. Számos kereszteződés háromrétegű struktúrát alkalmaz-egy átlátszó belső réteggel, átlátszó középső réteggel, amelyben a kvarcon keresztül buborékok diszpergálódnak, és egy külső vékonyréteg a pezsgő kvarcból. A háromrétegű struktúrák jobb mechanikai szilárdságot, hőgazdálkodást és költség-előnyöket kínálnak, és javítják a hőátadási jellemzőket. Néhány kereszteződés emellett alkáli fémionok bevonatait (például bárium-ion oldatokat) használja a legbelső felületen, vagy nagy poros szintetikus kvarcot használ az adott rétegekben, hogy csökkentse az oxigéntartalmat, a kimerült tisztaságokat és javítsa a húzott egyetlen kristályok általános minőségét.

A félvezetők számára a kvarc -kereszteződések gyártását a szükséges tisztaságoknál szigorú minőség -ellenőrzési tűrésűnek kell tartani, amely általában a fém szennyeződések több milliárd része. A nyersanyagokat gondosan kiválasztják és tisztítják a szennyező anyagok eltávolításához. Ezeket durva dimenziókba alakítják, megfelelő hőkezeléssel, és a felületet elkészítették a dimenziós pontosság, a mechanikai szilárdság és a tisztaság elérése érdekében. A folyamat annak biztosítására irányul, hogy a keresztre feszítők megbízhatóak maradjanak, miközben hosszabb ideig tartó magas hőmérsékleten expozíciónak vannak kitéve kemény kémiai környezetben.

A kvarc -tégely félvezető előállításában történő teljesítménye befolyásolja a szilícium kristályrács egységességét, a hiba sűrűségét és az oxigént az ingotban. A magas tisztaságok és a hibamentes kvarc-trükkök korlátozzák a kristályhibák diszlokációját, javítják a hozam sebességét, és meghatározzák az ostyák előállításának képességét az eszköz geometriáinak előmozdítására. Ha HGH-teljesítmény IC-k, fotovoltaikus szilícium-os szilícium vagy energiaelektronika termelője vagy, akkor a kiváló minőségű kvarc-keresztreciklusok kiválasztása és használata kulcsfontosságú elem a költség-teljesítmény kialakításához és optimalizálásához.

FélkapóFélvezető kvarcA kereszteződések nélkülözhetetlen kiegészítő anyagok minden szilícium kristályhúzó rendszerhez. A tisztaság, a magas hőmérséklet-stabilitás és a szabadalmaztatott többrétegű szerkezetek egyedi tulajdonságai miatt ez megfelelő anyag a CZ húzási folyamatának támasztására, miközben következetes és reprodukálható teljesítményt nyújt. Ahogy a félvezető gyártása a magasabb integráció és a szigorúbb toleranciák felé halad, a precízióval tervezett kvarc-kerékpárok jelentős hozzáadottérték-előnyei nagyobb jelentőséggel bírnak a következő generációs elektronikus technológiák lehetővé tétele és fejlesztése szempontjából.