SiC bevonatú epitaxiás lemez

A Semicorex SiC Coated Epitaxy Disc páratlan előnnyel rendelkezik a félvezetőiparon belül, amelyeket a következőképpen lehet továbbfejleszteni:

Alacsony hőtágulási együttható: A SiC bevonatú epitaxiás lemez kiemelkedően alacsony hőtágulási együtthatóval büszkélkedhet, ami kritikus a félvezető feldolgozásban, ahol a méretstabilitás elengedhetetlen. Ez az attribútum biztosítja, hogy a SiC bevonatú epitaxiás lemez minimális táguláson vagy összehúzódáson menjen keresztül a hőmérséklet-ingadozások hatására, megőrizve a félvezető szerkezet integritását a magas hőmérsékletű folyamatok során.

Magas hőmérsékletű oxidációval szembeni ellenállás: A figyelemre méltó oxidációs ellenállással készült SiC bevonatú Epitaxy Disc megőrzi szerkezeti integritását emelt hőmérsékleten is, így ideális alkatrész a magas hőmérsékletű félvezető eljárásokban, ahol a hőstabilitás döntő fontosságú.

Sűrű és finomporózus felület: A SiC bevonatú Epitaxy Disc felületét sűrűsége és finom porozitása jellemzi, amely optimális felületi textúrát biztosít a különböző bevonatok ragasztásához, és hatékony anyageltávolítást biztosít a félvezető lapka feldolgozása során anélkül, hogy károsítaná a finom felületet.

Nagy keménység: A bevonat nagy keménységet kölcsönöz a grafitlemeznek, amely ellenáll a karcolásnak és kopásnak, így meghosszabbítja a SiC bevonatú epitaxiás lemez élettartamát, és csökkenti a csere gyakoriságát félvezető gyártási környezetben.

Savakkal, bázisokkal, sókkal és szerves reagensekkel szembeni ellenállás: A SiC bevonatú Epitaxy Disc CVD SiC bevonata kiváló ellenállást biztosít a korrozív anyagok széles skálájával szemben, beleértve a savakat, bázisokat, sókat és szerves reagenseket, így alkalmas olyan környezetben való használatra, ahol a vegyi expozíció aggodalomra ad okot, ami növeli a berendezés megbízhatóságát és élettartamát.

Béta-SiC felületi réteg: A SiC bevonatú epitaxiás korong SIC (szilícium-karbid) felületi rétege béta-SiC-ből áll, amely felületközpontú köbös (FCC) kristályszerkezettel rendelkezik. Ez a kristályszerkezet hozzájárul a bevonat kivételes mechanikai és termikus tulajdonságaihoz, kiváló szilárdságot és hővezető képességet kínálva a lemeznek, ami elengedhetetlen a félvezető-feldolgozó berendezésekhez.