SiC lemez vevő

A minőség és az innováció iránti mély elkötelezettségével a Semicorex ultratiszta SiC Disc Susceptorja új mércét állít fel az epitaxiás, MOCVD és RTP berendezések teljesítményében. A kivételes hősokkállóság, a kiváló hővezetőképesség, a kiemelkedő vegyszerállóság és az ultra-nagy tisztaság ötvözésével ezek a tervezett alkatrészek páratlan hatékonyságot, megbízhatóságot és termékminőséget biztosítanak a félvezető gyártóknak. A Semicorex testreszabható megoldásai tovább biztosítják, hogy minden hőfeldolgozási alkalmazás optimalizált, precíziós tervezésű komponensekből részesüljön, amelyeket az egyedi igények kielégítésére terveztek.

Kiváló hőütésállóság:A SiC Disc Susceptor kiválóan ellenáll a gyors hőmérséklet-ingadozásoknak, amelyek gyakoriak az RTP-ben és más magas hőmérsékletű folyamatokban. Ez a kivételes hősokkállóság biztosítja a szerkezeti integritást és a hosszú élettartamot, minimálisra csökkenti a hirtelen hőmérsékletváltozások miatti károsodás vagy meghibásodás kockázatát, és növeli a hőfeldolgozó berendezés megbízhatóságát.

Kiváló hővezetőképesség:A hatékony hőátadás kritikus fontosságú a hőfeldolgozási alkalmazásokban. A SiC Disc Susceptor kiváló hővezető képessége gyors és egyenletes fűtést és hűtést biztosít, ami elengedhetetlen a pontos hőmérsékletszabályozáshoz és a folyamatok egyenletességéhez. Ez javítja a folyamat hatékonyságát, csökkenti a ciklusidőket és jobb minőségű félvezető lapkákat.

Kivételes vegyszerállóság:A SiC Disc Susceptor kiemelkedő ellenállást biztosít az epitaxiás, MOCVD és RTP folyamatokban használt korrozív és reaktív vegyszerek széles skálájával szemben. Ez a kémiai tehetetlenség megvédi az alatta lévő grafitot a lebomlástól, megakadályozza a folyamatkörnyezet szennyeződését, és egyenletes teljesítményt biztosít hosszabb üzemidőn keresztül.

Ultra-nagy tisztaságú: A SiC Disc Susceptor a grafit és a SiC bevonat ultramagas tisztasági szabványai szerint készül, elkerülve a szennyeződés lehetőségét és biztosítva a hibamentes félvezető eszközök gyártását. A tisztaság iránti elkötelezettség nagyobb hozamot és jobb eszközteljesítményt jelent.

Összetett formák elérhetősége:A Semicorex fejlett gyártási képességei lehetővé teszik a SiC Disc Susceptor összetett formájú, egyedi vevői igényekre szabott gyártását. Ez a rugalmasság lehetővé teszi olyan egyedi megoldások tervezését, amelyek megfelelnek a különféle hőfeldolgozási alkalmazások precíz igényeinek, növelve a folyamatok hatékonyságát és a berendezések kompatibilitását.

Oxidáló légkörben használható:A robusztus CVD SiC bevonat kiváló védelmet nyújt az oxidáció ellen, lehetővé téve a SiC Disc Susceptor megbízható működését oxidáló környezetben. Ez kiterjeszti alkalmazhatóságukat a termikus eljárások szélesebb körére, biztosítva a sokoldalúságot és az alkalmazkodóképességet.

Erős, megismételhető teljesítmény:A magas hőmérsékletű és vákuum környezetre tervezett SiC Disc Susceptor robusztus és megismételhető teljesítményt kínál. Tartóssága és konzisztenciája ideálissá teszi őket a kritikus hőfeldolgozási alkalmazásokhoz, csökkentve az állásidőt, a karbantartási költségeket és biztosítva a hosszú távú működési megbízhatóságot.

A Semicorex a CVD SiC bevonatú alkatrészek testreszabására specializálódott, hogy megfeleljen a hőfeldolgozó berendezések sokféle igényeinek, beleértve:

Diffúzorok:Növelje a gázelosztás egyenletességét és a folyamat konzisztenciáját.

Szigetelők:Hőszigetelést és védelmet biztosít magas hőmérsékletű környezetben.

Egyéb egyedi termikus alkatrészek:Testre szabott megoldások, amelyeket úgy terveztek, hogy megfeleljenek a speciális folyamatkövetelményeknek és optimalizálják a berendezés teljesítményét.