SiC fűtőszál

A Semicorex SiC Heating Filament, egy nagy vákuumú fűtőelem, amelyet új félvezető gyártás során használt ostyafeldolgozáshoz fejlesztettek ki, egy innovatív fűtőelem, amelyetgrafit magés nagy tisztaságúszilícium-karbid bevonat. A speciális izzószál a grafit hővezető képességét, valamint a SiC tartósságát és védelmét alkalmazza, ami stabil és energiahatékony fűtőelemet eredményez az idő múlásával. A SiC fűtőszálat úgy tervezték, hogy egyenletesen melegítse az ostyákat és elérje a specifikációt, így kiváló alkatrésze magas hőmérsékletű félvezető-feldolgozáshoz, például epitaxiához, diffúzióhoz és lágyításhoz.

A SiC fűtőszál nagy tisztaságú grafitból készül a grafit termikus tulajdonságai és minőségi elektromos tulajdonságai miatt. A grafit biztosítja a fő fűtési funkciót, amely gyors reagálást és hatékony fűtést tesz lehetővé elektromos terhelés mellett. A sűrű, nagy tisztaságú SiC bevonat megvédi az izzószálat az esetleges szennyeződésektől. A SiC bevonat megvédi az ostyát a vegyi szennyeződésektől és az oxidációtól, valamint a kamrában lévő részecskéktől, meghosszabbítja az izzószál hasznos élettartamát, és tiszta kamrakörnyezetet teremt.

A SiC fűtőszál kulcsfontosságú minősége az, hogy egyenletesen melegíti az ostyát. Az ostyán belüli hőmérséklet-ingadozások hibákhoz vagy hozamkieséshez vezethetnek. A SiC fűtőszál kiváló hővezető képességgel rendelkezik, és az izzószál szilárd kialakítása biztosítja a hő stabilitását és egyenletesebbé tételét, korlátozva a hőgradienseket az abszolút folyamatszabályozás érdekében.

A SiC Heating Filament testreszabható, az egyes izzószálak elektromos ellenállási értéke testreszabható a folyamat eszközéhez és a működési környezethez. Ez a testreszabás lehetővé teszi a szilícium-karbid technológia számára, hogy szabályozza az izzószál geometriájának ellenállását, a bevonat vastagságát és az anyag tulajdonságait. A SiC fűtőszál sok különböző kemence kialakításához illeszkedik, sokféle ostyamérettel és eljárási receptúrával. Ez különösen a félvezetőgyártók számára kedvező, mivel lehetővé teszi a jelenlegi folyamatok hatékonyabb működését, és fenntartja a kompatibilitást a már működő rendszerekkel.  A teljesítmény harmadik jellemzője a tartósság. A magas hőmérsékletű félvezető eljárásoknál a fűtőelem nagyon agresszív kémiai környezetnek és ismételt hőciklusnak van kitéve.

A Semicorex SiC Heating Filament alkalmazásai a félvezető eszközök gyártási folyamatainak széles skáláját fedik le. Az epitaxiális növekedés során például a fűtőelem stabil és egyenletes hordozóhőmérsékletet biztosít a kiváló minőségű kristályos filmek lerakásához.