Sic fedél

A Semicorex SIC fedél egy létfontosságú rész, amelyet kifejezetten a félvezető feldolgozására terveztek. Az epitaxia, az ion implantáció és a magas hőmérsékletű alkalmazások legkeményebb környezetéhez tervezték. Az ultra-pure szilícium-karbidból készül, amely rendkívül stabil anyag tulajdonságokkal és tervezett pontossággal rendelkezik. A hosszú távú konzisztencia, a tartósság és a tisztaság a kulcsfontosságú okok a Semicorex SIC fedél kiválasztásához a fejlett félvezető gyártási folyamatokban való felhasználáshoz.

Szilícium -karbid (sic)Számos olyan tulajdonsággal rendelkezik, amelyek egyediek a hagyományos kerámiákhoz vagy fém anyagokhoz képest. A SIC egyik fő előnye a magas hőmérsékletekkel szembeni ellenállás. A SIC megőrizheti szerkezeti integritását és mechanikai stabilitását - hosszú ideig is megemelkedett hőmérsékleten. Ez lehetővé teszi a SIC-t ideálissá olyan folyamatokhoz, mint a kémiai gőzlerakódás (CVD) epitaxia vagy a nagy energiájú ionimplantáció. A fémek és műanyagok szélsőséges hőmérsékleten deformálódnának, oxidálódnak vagy szennyeződnek, míg a SIC fenntartja annak dimenziós stabilitását, és nem fog pozitívan kölcsönhatásba lépni a feldolgozott ostyákkal.

A kémiai ellenállás a SIC fedelek másik megkülönböztető tulajdonsága. A félvezető feldolgozásakor a korrozív gázokkal, plazmákkal vagy reaktív vegyi anyagokkal való találkozás során felmerülő környezetek nem ritkák. Ezekben a forgatókönyvekben a SIC felület inert akadályt fog biztosítani, hogy ellenálljon azoknak a szennyeződéseknek, hogy az idő múlásával lebomlik a felületet, ami hosszabb hatékony élettartamot eredményez. Ez a hosszú élettartam megegyezik a csökkentési költségekkel, a csökkentett berendezések leállítási idejével és a megismételhetőséggel a meghosszabbított folyamatciklusok között. Ezek a tényezők miatt a SIC fedele jobb választássá teszi a Fabs -t, amelyek folyamatos, magas hozamot igényelnek a hagyományos anyagokhoz képest.

Csakúgy, mint a kémiai ellenállás, a tisztaság is kiemelkedően fontos a félvezető alkalmazásban. A nyomkövető szennyező anyagok jelenléte negatív hatással lehet az eszköz teljesítményére és hozamára. A SIC fedél nagy tisztaságú szilícium -karbid anyagokból készül, amelyek kizárják a fém szennyeződések lehetőségét a folyamatkörnyezetbe. Ezenkívül garantáltan a lehető legtisztább és stabil, mivel a szennyeződésekre és a külső erőkre vonatkozik, amelyek befolyásolják a fedél teljesítményét, ami kritikus fontosságú a mai félvezető gyártási követelmények teljesítésében, ahol a nanométerszintű objektumokat dimenzió nélküli pontossággal és szennyező anyagok ellenőrzésével kell meghatározni. A SIC fedél rugalmassága további érték. Mindegyik alkatrész megtervezhető egy adott ügyfél igényeihez a méret, a geometria és a felületi felület szempontjából. Ez biztosítja, hogy a fedél könnyen beépíthető és beépíthető a különféle berendezések modelljeibe és a feldolgozóeszközökbe.

A megmunkálás pontosságaSicA fedők tovább javítják a SIC fedelek értékét. A félvezető szerszámok megkövetelik a legmagasabb mechanikai pontosságot a dimenziós kompatibilitás és a felületi egységesség nagy ingadozása miatt, még az egységesség és az anyag vastagságának kisebb eltérései is súlyosan veszélyeztethetik az eszköz folyamatkonzisztenciáit, az átviteli sebességet és a termékminőséget. Az anyagfeldolgozás fejlett technológiái révén a SIC fedelek síksággal, felületi egységességgel és toleranciákkal rendelkeznek, amelyek meghaladják a hagyományos ipari szabványokat, és a mechanikus tömítés felületi vastagságát kínálják, általában több ezer/több ezer hüvelyk (TIR). A magas laposság lehetővé teszi a mechanikus illeszkedés lezárását, valamint a laboratóriumi szintű korlátozások biztosítékát, hogy megtapasztalják a termelési folyamat körülményeit. Ez különösen nyilvánvaló a nagy volumenű FAB -kban, ahol a feltételek megismételhetőségének hangsúlya döntő jelentőségű a félvezetők eszközeinek teljesítménye szempontjából. Amikor a precíziós tervezést folytatja, közvetlenül a hozam optimalizálására szól. Amikor a SIC fedelek tipikus gyakorlati alkalmazásban vannak, például epitaxisban, ahol a SIC fedél hő- és kémiailag stabil, hogy bejuthasson a reaktorba, vagy egy ionimplantációs rendszerben, hogy ellenálljon az energetikai részecskéknek, amelyek a nagy teljesítményű ionokból kiütöttek, és a karbantartásukban, és a fenntartók számára az állandó bombázások alatt álltak, és a fenntartók állandó bombázásaikkal, az energiatartalmú szilárd anyagok állandó bombázása alatt álltak, és a tulajdonságok megmaradtak, és a tulajdonságok folyamatosan bombázott részecskéket tartottak fenn, és a tulajdonságok megmaradtak, és a tulajdonságok erőteljes bombázási ruháikat fenntartották, és a tulajdonságok megmaradtak, és a tulajdonságok erőteljes bombázási ruháikat fenntartották. A SIC fedelek szinonimának kell lennie a szilárdtest félvezető előállításában.

A Semicorex SIC LID az anyagtudomány és az anyagmérnöki tervek legjobbját képviseli, és a lehető legjobb teljesítményt nyújtja a félvezető környezetben, magas hőmérsékleti tűrésük, kémiai ellenállásuk, ideális tisztességük, egyedi gyártások, pontos megmunkálási munka, a SIC fedél.