A SICOI lapka, egy speciális technikával készült szilícium-karbid-szigetelő kompozit lapka, elsősorban fotonikus integrált áramkörökben és mikroelektromechanikai rendszerekben (MEMS) használatos. Ez a kompozit szerkezet egyesíti a szilícium-karbid kiváló tulajdonságait a szigetelők szigetelési jellemzőivel, jelentősen javítva a félvezető eszközök általános teljesítményét, és ideális megoldást kínál a nagy teljesítményű elektronikai és optoelektronikai eszközök számára.
MI VAGYUNKostyaegy háromrétegű szerkezetű kompozit félvezető anyag, amely egyedi módszerrel készül.
A SICOI lapka szerkezetének alsó rétege szilícium hordozó, amely megbízható mechanikai alátámasztást biztosít a SICOI lapka szerkezeti stabilitásának biztosítása érdekében. Optimális hővezető képessége csökkenti a hő felhalmozódásának a félvezető eszközök teljesítményére gyakorolt hatását, lehetővé téve azok hosszú távú normál működését még nagy teljesítmény mellett is. Ezenkívül a szilícium hordozó kompatibilis a félvezetőgyártásban jelenleg használt berendezésekkel és gépekkel. Ez sikeresen csökkenti a gyártási költségeket és a bonyolultságot, miközben felgyorsítja a termék kutatás-fejlesztését és a tömeggyártást.
A szilícium szubsztrát és a SiC eszközréteg között elhelyezkedő szigetelő oxidréteg a SICOI lapka középső rétege. A felső és alsó réteg közötti árampályák leválasztásával a szigetelő oxidréteg hatékonyan csökkenti a rövidzárlatok kockázatát, és garantálja a félvezető eszközök stabil elektromos teljesítményét. Alacsony abszorpciós karakterisztikája miatt jelentősen csökkentheti az optikai szórást és javíthatja a félvezető eszközök optikai jelátviteli hatékonyságát.
A szilícium-karbid eszközréteg a SICOI lapka szerkezetének alapvető funkcionális rétege. Kivételes mechanikai szilárdsága, magas törésmutatója, alacsony optikai vesztesége és figyelemre méltó hővezető képessége miatt elengedhetetlen a nagy teljesítményű elektronikus, fotonikus és kvantumfunkciók eléréséhez.
3. Elektro-optikai modulátor gyártásához
1. Nemlineáris optikai eszközök, például optikai frekvenciafésű gyártásához.
2. Integrált fotonikus chipek gyártásához.
3. Elektro-optikai modulátor gyártásához
4. Erőteljes elektronikai eszközök, például tápkapcsolók és rádiófrekvenciás eszközök gyártásához.
5. MEMS-érzékelő, például gyorsulásmérő és giroszkóp gyártásához.