A Semicorex az Ön partnere a félvezető-feldolgozás fejlesztésében. Szilícium-karbid bevonataink sűrűek, magas hőmérséklet- és vegyszerállóak, amelyeket gyakran használnak a félvezetőgyártás teljes ciklusában, beleértve a félvezető lapkák és lapkák feldolgozását és a félvezető gyártást.
A nagy tisztaságú SiC kerámia alkatrészek kulcsfontosságúak a félvezető folyamatokban. Kínálatunk az ostyafeldolgozó berendezések fogyóeszköz-alkatrészeitől, például szilícium-karbid ostyahajótól, konzolos lapátoktól, csövektől stb. terjed az Epitaxy vagy MOCVD számára.
A félvezető eljárások előnyei
A vékonyréteg-lerakódási fázisoknak, mint például az epitaxia vagy a MOCVD, vagy az ostyakezelési folyamatoknak, mint például a maratás vagy az ionimplantáció, el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást. A Semicorex nagy tisztaságú szilícium-karbid (SiC) konstrukció kiváló hőállóságot és tartós vegyszerállóságot, egyenletes termikus egyenletességet biztosít az egyenletes epiréteg vastagság és ellenállás érdekében.
Kamrafedelek →
A kristálynövekedéshez és az ostyakezeléshez használt kamrafedeleknek el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást.
Konzolos lapát →
A konzolos lapát kulcsfontosságú alkatrész, amelyet a félvezetőgyártási folyamatokban használnak, különösen a diffúziós vagy LPCVD kemencékben olyan folyamatok során, mint a diffúzió és az RTP.
Process Tube →
A Process Tube kulcsfontosságú alkatrész, amelyet kifejezetten különféle félvezető-feldolgozási alkalmazásokhoz terveztek, mint például az RTP, a diffúzió.
Ostyahajók →
A Wafer Boat-ot félvezető-feldolgozásban használják, és aprólékosan megtervezték, hogy a finom ostyák biztonságban legyenek a gyártás kritikus szakaszaiban.
Bemeneti gyűrűk →
SiC bevonatú gázbevezető gyűrű MOCVD berendezéssel A vegyületnövekedés magas hő- és korrózióállósággal rendelkezik, amely rendkívül stabil extrém környezetben.
Fókuszgyűrű →
A Semicorex kellékei A szilícium-karbid bevonatú fókuszgyűrű igazán stabil RTA, RTP vagy durva vegyszeres tisztításhoz.
Ostya Chuck →
A Semicorex ultra-lapos kerámia vákuum ostyatokmányok nagy tisztaságú SiC bevonattal vannak ellátva az ostyakezelési folyamat során.
A Semicorexnek vannak kerámiatermékei alumínium-oxidból (Al2O3), szilícium-nitridből (Si3N4), alumínium-nitridből (AIN), cirkónium-dioxidból (ZrO2), kompozit kerámiából stb.
A Semicorex ICP Etching Plate egy fejlett, nagy teljesítményű alkatrész, amelyet kifejezetten félvezető alkalmazásokhoz terveztek, szilícium-karbid (SiC) anyagból. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért nagyon várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában*.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SiC reflektor kulcsfontosságú eleme a különböző félvezetőgyártási folyamatoknak. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért nagyon várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában*.
Olvass továbbKérdés küldéseA SiC mint elsődleges anyagon alapuló Semicorex SiC kerámia hőátadó lemezek 2250°C-on magas hőmérsékletű szinterezésen esnek át, ami egy erősen üvegezett, nulla porozitású sűrű kerámiatestet eredményez, amelynek SiC tartalma ≥99,3%. A ≥410 MPa hajlítószilárdságú és 140 W/m.k hővezető képességgel rendelkező kerámiák az egyetlen olyan anyagok, amelyek képesek ellenállni az erős savak, például a fluorsav (HF) és a kénsav (H2SO4) korróziójának a félvezetőiparban. Mi, a Semicorex elkötelezett a nagy teljesítményű SiC kerámia hőátadó lemezek gyártásával és szállításával, amelyek a minőséget a költséghatékonysággal ötvözik. **
Olvass továbbKérdés küldéseA szinterezéssel összeragasztott szilícium-karbid szemcsékből nyert Semicorex szilícium-karbid kerámia szerkezeti részek széles körben használatosak az autóiparban, mechanikai, vegyipari, félvezető-, űrtechnológiai, mikroelektronikai és energiaágazatban, és kulcsfontosságú szerepet töltenek be ezekben az iparágakban. Figyelemre méltó tulajdonságaiknak köszönhetően a szilícium-karbid kerámia szerkezeti részek ideális anyaggá váltak a magas hőmérséklettel, nagy nyomással, korrózióval és kopással jellemezhető zord körülményekhez, megbízható teljesítményt és hosszú élettartamot biztosítva a kihívásokkal teli működési környezetben.**
Olvass továbbKérdés küldéseAz alumínium-oxid kerámia karimák olyan tervezett alkatrészek, amelyek jelentős előnyöket kínálnak, különösen olyan körülmények között, ahol a hőstabilitás, a súly és a korrózióállóság kiemelkedően fontos. Ezek a karimák nem csak tartósak és megbízhatóak, hanem hozzájárulnak azon rendszerek általános hatékonyságához és költséghatékonyságához is, amelyekben alkalmazzák őket. Egyedülálló tulajdonságaiknak köszönhetően kiváló választás a fejlett mérnöki megoldásokhoz különböző ipari szektorokban. Mi, a Semicorex elkötelezett a nagy teljesítményű alumínium-oxid kerámia karimák gyártásával és szállításával, amelyek a minőséget a költséghatékonysággal ötvözik.**
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex Alumina Vacuum Chuck egy precíziós tartóeszköz, amelyet fejlett gyártási és kutatási alkalmazásokhoz terveztek. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért nagyon várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában*.
Olvass továbbKérdés küldése