A Semicorex szilícium talapzat, egy gyakran figyelmen kívül hagyott, mégis kritikusan fontos komponens, létfontosságú szerepet játszik a félvezető diffúziós és oxidációs folyamatokban a precíz és megismételhető eredmények elérésében. A speciális platform, amelyen a szilícium csónakok magas hőmérsékletű kemencékben nyugszanak, egyedülálló előnyöket kínál, amelyek közvetlenül hozzájárulnak a hőmérséklet egyenletesebbé tételéhez, a lapkák minőségének javításához, és végső soron a félvezető eszközök kiváló teljesítményéhez.**
1. Semicorex szilícium talapzat, amely stabilizálja a feldolgozási környezetet az optimális eredmények érdekében:
Stabil alap létrehozása a kristályhajók számára:A szilícium talapzat robusztus és termikusan stabil platformot biztosít a szilícium csónakok számára a magas hőmérsékletű kemencekamrában. Ez a stabilitás biztosítja, hogy a hajók a folyamat során megtartsák helyzetüket és tájolásukat, megakadályozva a nem kívánt mozgást vagy megdöntést, ami megzavarhatja a gázáramlás dinamikáját és veszélyeztetheti a hőmérséklet egyenletességét.
A hőmérséklet egyenletességének növelése a reakciókamrán belül:Azáltal, hogy hatékonyan elszigeteli a szilícium csónakot a kemence padlójától és falaitól, a szilícium talapzat minimálisra csökkenti a vezetés során keletkező hőveszteséget, és elősegíti a hőmérséklet egyenletesebb eloszlását a termikus reakciócsőben. Ez a továbbfejlesztett hőkezelési képesség kulcsfontosságú a konzisztens és megismételhető diffúziós vagy oxidációs profilok eléréséhez a teljes lapkafelületen.
A szigetelés hatékonyságának növelése az optimalizált energiafelhasználás érdekében:A szilícium talapzat rejlő hőszigetelő tulajdonságai hozzájárulnak egy energiahatékonyabb folyamathoz azáltal, hogy minimálisra csökkentik a környező környezet hőveszteségét. Ez gyorsabb fűtési és hűtési ciklusokat, alacsonyabb energiafogyasztást és végső soron alacsonyabb feldolgozási költségeket jelent.
2. Anyagszinergia a kiváló ostyaminőségért:
Megfelelő hőtágulás az ostyafeszültség csökkentése érdekében:A szilícium talapzat, amely ugyanabból a nagy tisztaságú szilícium anyagból készül, mint maguk a csónakok és ostyák, döntő előnyt kínál az olyan alternatív anyagokkal szemben, mint a kvarc vagy a szilícium-karbid. Ez az anyagszinergia biztosítja, hogy a talapzat, a csónak és az ostyák közel azonos sebességgel táguljanak és húzzanak össze a fűtési és hűtési ciklusok során, minimalizálva a termikus igénybevétel, az ostya meghajlásának és a krisztallográfiai hibák kockázatát, amelyek negatívan befolyásolhatják az eszköz teljesítményét és teljesítményét.
A szennyeződés és a rácshibák minimalizálása:A nagy tisztaságú szilícium használata mind a szilícium talapzaton, mind a hajón kiküszöböli a különböző anyagokból származó szennyeződés lehetőségét, így tiszta feldolgozási környezetet biztosít az ostyák számára. Ez az anyagkompatibilitás minimálisra csökkenti a rács-eltérések kockázatát az ostya-boat interfésznél, ami tovább járul a kristályminőség javulásához és a hibasűrűség csökkenéséhez.