Szuszceptor ráccsal

A Semicorex Susceptor with Grid egy speciális komponens, amelyet a félvezető lapkák epitaxiális növekedési folyamatában használnak. Ezt a kritikus berendezést úgy tervezték, hogy hordozza és támogassa az ostyákat az anyagok fém-szerves kémiai gőzleválasztási (MOCVD) rendszerben történő leválasztása során. A ráccsal ellátott szuszceptor kulcsszerepet játszik a félvezető lapkán lévő epitaxiális rétegek egyenletes és szabályozott növekedésének biztosításában.

A ráccsal ellátott Susceptor a funkciójához optimalizált anyagokból készült. Ebben az esetben MOCVD SiC (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide) bevonatú grafitból készül. Ez az anyagválasztás számos előnnyel jár, beleértve a magas hőmérséklet-állóságot, a kémiai stabilitást és a kiváló hővezető képességet. A grafiton lévő SiC bevonat növeli a szuszceptor tartósságát és ellenállóságát az epitaxiális növekedési folyamat során fellépő zord körülményekkel szemben.

A rácsszerkezetű Susceptor a félvezető lapkák tartószerkezeteként szolgál. Stratégiailag úgy tervezték, hogy az ostyákat biztonságosan a helyükön tartsa, miközben lehetővé teszi a gázok hatékony áramlását és az anyagok egyenletes lerakódását. A rácsminta segít egyenletesen elosztani a hőt és a reagenseket az ostya felületén, hozzájárulva az epitaxiális rétegvastagság és összetétel pontos szabályozásához.

A ráccsal ellátott Semicorex Susceptor kritikus eleme a fejlett félvezető eszközök gyártási folyamatának. Robusztus felépítése és speciális kialakítása nélkülözhetetlen eszközzé teszi a kiváló minőségű epitaxiális növekedés eléréséhez, biztosítva a kiváló teljesítményű és megbízható félvezetők gyártását.