Teflon kazetták

A Semicorex teflon kazetták nagy teljesítményű ostyahordozók, amelyeket kifejezetten olyan igényes kémiai környezetben használnak, ahol a tisztaság, a kémiai ellenállás és a hőstabilitás nélkülözhetetlen. A nagy tisztaságú, polietrafluor-etilénből (PTFE) készítve ezeket a kazettákat széles körben használják félvezető gyártásban, nedves maratásban, kémiai tisztításban és egyéb alkalmazásokban, ahol a rendkívül agresszív vegyi anyagok expozíciója rutin. Nem reaktív jellegük miatt ideálissá teszik azokat a finom szubsztrátumok, például a szilícium ostyák, az üvegpanelek és más precíziós alkatrészek kezelésére, anélkül, hogy szennyeződést vagy részecskéket vezetnének be a folyamatba.

A félvezető gyártás különféle folyamatainál, például a litográfia, a maratás és az ionimplantációban a kazetták szerepet játszanak a szófutók különböző eszközök között történő szállításában és átvitelében. A különböző folyamatfelszerelések eltérő interfészkövetelményekkel rendelkezhetnek a kazettákra annak biztosítása érdekében, hogy az ostya hordozóit pontosan be lehet fogadni és elhelyezni.

Az anyag és a kialakítás szempontjából a hőálló anyagok kiváló mechanikai tulajdonságokkal rendelkeznek, dimenziós stabilitást mutatnak, és általában tartós, anti-statikus, alacsony kimenetelűek, alacsony csapadékot és újrahasznosíthatók. Különböző ostyaméretek, folyamatcsomópontok és folyamatok különböző anyagokat használnak. Az általános anyagok a PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, PC, PBT, PEI, COP stb.

A teflon kazetták kiváló kémiai rezisztenciát kínálnak a környezetben hidrogénsav, salétromsav, kénsav és más erős korrozívok felhasználásával. A hagyományos anyagokkal ellentétben, mint például a polipropilén vagy a rozsdamentes acél, a PTFE nem pusztul el; nem duzzad; A durva vegyi fürdőkben nincs anyag. Ezért a teljesítmény garantálható hosszú ideig, és ennélfogva a kazetták megbízhatósága a nagy teljesítményű gyártósorok és az ultra-tiszta környezetek iránt. Robusztussága alacsonyabb karbantartási igényeket és csere gyakoriságot jelent, ezáltal csökkentve a hosszú távú működési költségeket.

A teflon kazetták nagyon nagy hőstabilitást mutatnak. Könnyen ellenállhatnak -200 ° C -tól +260 ° C -ig, a kriogén és a magas hőmérsékletű folyamatokhoz. Még fűtött szárító kamrákba vagy hideg vegyi fürdőkbe helyezve, a kazetták nem veszítik el szerkezeti szilárdságukat; Nem veszítik el és nem repednek, biztosítva, hogy az ostyák biztonságosan maradjanak a feldolgozás során. Ez a hőmérsékleti ellenálló képesség jelentősen hozzájárul a folyamatvezérléshez és az egységességhez, amelyek kritikusak a félvezető és a MEMS gyártás szempontjából.

A teflon kazetták ugyanolyan fontos jellemzője az inert, nem tapadó felület. A PTFE természetéből adódóan nem teszi lehetővé a részecskék és a kémiai maradványok adszorpcióját, ezáltal csökkentve a szennyeződés kockázatait a tiszta helyiségben. Ezt össze kell kapcsolni egy sima felületi felülettel, amely lehetővé teszi a gyors öblítést és a szárítást, így a tisztább eredmények és a gyorsabb ciklusidők eredménye. A félvezető feldolgozásban, ahol a hibákat még mikroszkopikus szennyező anyagok is okozhatják, ez a tisztaság és a kémiai tehetetlenségi szint kötelező.

Mindegyik kazettát pontosan a szűk méretű toleranciákra készítik, garantálva a ostya állandó igazítását és távolságát, miközben mozgatják és folyadékba helyezik. Könnyen megtervezett formájuk elősegíti a kémiai áramlást és a vízelvezetést, amely felgyorsítja a kémiai árfolyamokat, és javítja a ostya felületének tisztítását vagy maratását.  A kazetták standard méretben kaphatók 4 hüvelykes, 6 hüvelykes és 8 hüvelykes ostyákhoz, testreszabási lehetőségekkel rendelkezésre állnak, hogy illeszkedjenek a specifikus szubsztrátméretekhez, a résidőszámhoz és a kezelési követelményekhez.

Az automatizált nedves padokkal és a robot ostyakezelő rendszerekkel való kompatibilitásra tervezték, a teflon kazetták könnyen integrálódnak a legtöbb félvezető gyártási beállításokba. Robusztus építési és tiszta szobás fokú kivitelük megfelel az ISO-tanúsítvánnyal rendelkező környezet szigorú követelményeinek. Az összes kazettát alapos ellenőrzésen veszik át, és ultra-tiszta vízben előre megtisztítják, hogy megfeleljenek a fejlett mikroelektronika előállításához szükséges tisztasági előírásoknak. A megfelelőségi és a teljes anyagkövethetőség tanúsítványai biztosíthatók a minőségbiztosítási protokollok betartásának biztosítása érdekében.