Ostya széle csiszoló chuck

A SEMICOREX SOFER ÉG -MEGKÉPESSÉGE A Chuck egy dedikált kerámia alkatrész, amelyet a ostya szélének őrlési folyamatához készítenek a félvezető gyártása során. A kerámia nagy tisztaságból, fehér alumínium -oxidból (Al₂o₃) készül, mechanikai szilárdsággal, kémiai ellenállással és dimenziós stabilitással, hogy támogassa az ostya őrlési folyamatát. Mivel az új technológiákhoz nagyobb ostyaátmérő és finomabb struktúrák szükségesek az eszközökön, a Wafer Edge őrlése most jelentős szerepet játszik a szélső forgácsolás, a mikrotörés és a hozam megelőzésében. Az alumínium -oxid -i kerámia őrlés, a Chuck állandó alapvonalat biztosít, amelyen megfelelhet ezeknek a szigorú gyártási követelményeknek.

Alumínium -oxid kerámiaHihetetlen fizikai, kémiai és termikus tulajdonságai miatt építési anyagként használják. A White alumínium -oxid kiemelkedő keménységgel rendelkezik, csak a gyémánt, amely magasabb a Mohs keménységi skálán, ami lehetővé teszi, hogy az őrlőképes Chuck ellenálljon a kopásnak és a kopásnak a belátható jövőben ismétlődő felhasználással. Tekintettel az alumínium -oxid jelentős mechanikai szilárdságára, az ostya biztonságosan megragadható és megtartható, míg az alumínium -oxid merevsége nem teszi lehetővé a torzulást vagy a deformációt, ha az alkatrészre terhelés alkalmazható. Ezt figyelembe véve az alumínium -oxid kiváló választás a berendezések és tartók előállításához, ahol pontosságra és tartósságra van szükség.

A hőstabilitás szintén az alumínium -oxid kerámia jellegzetes tulajdonsága. Ha a 2000 ° C -nál nagyobb olvadási pontot és a termikus sokk stabilitását nagyobb, a Chuck olyan körülmények között is futhat, ahol a súrlódásos fűtés vagy a hőmérsékletváltozás megtörténhet A szorítóerő továbbra is erős, hogy a szélcsiszolás következetesen megőrizze az igazítást. Az alumínium -oxid alacsony hővezetőképessége nem engedheti meg, hogy a lokalizált fűtés eléggé felmelegedjen az ostya integritásának bármilyen kompromisszumához a finom szubsztrátok félvezetők feldolgozásában.

Kémiai szempontból az alumínium -oxid -kerámia kevés reakciót mutat a savakra, lúgokra és a félvezető feldolgozás plazmakörnyezetére. Ellentétben a fémcsuklókkal, amelyek korrodálódhatnak, vagy olyan polimer szerelvényeket, amelyek explicit monitorozás nélkül továbbra is lebomlanak, az alumínium -oxid -kerámia immunis ezekkel szemben a mindennapi szervizciklusokkal a félvezető feldolgozása során. Ez a tehetetlenség biztosítja az ostya felületének nulla szennyeződését, és fenntartja a folyamat tisztaságát, miközben korlátozza a hozamvesztést.

A mai félvezető gyártási tájban a szélcsiszolás folyamata sokoldalú: előkészíti az ostyát a későbbi feldolgozáshoz, és biztonságos szállítást, kezelést és integrációt biztosít a legfejlettebb litográfiás és maratási eszközökhöz. Ebben a ostya élcsiszolója a chuck egy fontos darabja annak a rejtvénynek, hogy biztonságosan rögzítse, pontosan tartsa be, és közvetlenül hozzájárul az ostya megbízhatóságához és a termékteljesítményhez. Az alumínium -oxid kerámia beruházása révén az időt megtakarítják, ha egy ilyen eszköz hosszabb élettartamát tartják a leállás korlátozására, az alkatrészek költségeinek csökkentésére és a berendezések hatékonyságának maximalizálására (OEE).

A ostya szélének őrlésealumínium -oxid kerámiaképviseli a kifinomult anyagtudomány és a precíziós tervezés összes előnyeit. Például a keménység, a kopásállóság, a termikus stabilitás és a kémiai tehetetlenség tulajdonságait, amelyek a félvezető ostya gyártásához szükségesek. A robusztus teljesítmény megbízható ostya szélességéhez, jó hozamához és meghosszabbított berendezések élettartamához vezethet. A kifogástalan precíz és hatékonyság mellett elkötelezett félvezető gyártók esetében az alumínium -oxid ostya széle csiszoló Chuck a megoldás.