15" Quartz Bell Jar

A Semicorex 15" Quartz Bell Jar-t úgy tervezték, hogy megfeleljen ezeknek a kihívásoknak, és nagy teljesítményű megoldást kínál a közepes és nagy léptékű szakaszos feldolgozáshoz, ahol a termikus egyenletesség és az anyagtisztaság elengedhetetlen a hozam maximalizálásához. A félvezető- és vékonyfilm-iparban a folyamatkamra integritása a legfontosabb. Mivel a vegyszerméretek és a zsugorodási igények megnövekednek, a zsugorodás és a zsugorodás igénye is nő. Az inert környezet megtárgyalhatatlanná válik.

1. Anyagtudomány: Az olvasztott szilícium-dioxid tisztasága

Csengettyűnk alapja a nagy tisztaságúolvasztott szilícium-dioxid (kvarc). A szabványos üvegtől eltérően a kvarc szinte teljes egészében SiO2-ból áll, ami egyedülálló tulajdonságokat biztosít, amelyek létfontosságúak a félvezetők gyártásához:

Ultra-alacsony szennyeződés: Kvarcunkat úgy dolgozzuk fel, hogy a fémes nyomelemeket (például Al, Fe, Na és K) a milliárdos rész (ppb) szintre minimalizálja. Ez megakadályozza a szennyeződések diffúzióját az ostyába a magas hőmérsékletű ciklusok során, biztosítva az eszközök elektromos integritását.

Kiváló hőütésállóság: A kvarc hőtágulási együtthatója (CTE) közel nulla. Ez lehetővé teszi, hogy a 15 hüvelykes Quartz Bell Jar ellenálljon a gyors hőmérséklet-emelkedésnek és a kioltásnak anélkül, hogy fennállna a törés vagy a szerkezeti kifáradás veszélye – ez kritikus követelmény a nagy áteresztőképességű reaktoroknál.

Kiváló kémiai tehetetlenség: A kvarc nagyon ellenáll a legtöbb savnak (a fluorsav kivételével) és a korrozív folyamatgázoknak, biztosítva, hogy a kamra ne bomlik le vagy gáz ne távozzon az agresszív maratási vagy leválasztási ciklusok során.

2. Precíziós tervezés és optikai tisztaság

A 15"-es Quartz Bell Jar maximális térfogatot és optimális gázáramlási dinamikát biztosít a szakaszos ostyafeldolgozáshoz. Az edénynek van egy függőleges kéménye (más néven nyak), amely optimálisan úgy van kialakítva, hogy gázbevezetést biztosítson, vagy segítse a gáz vákuum segítségével történő eltávolítását az edényből, ami a fenti képen látható.

Optikai átlátszóság – A magas szintű átvitelkvarc anyaghullámhosszak kibocsátása a spektrum ultraibolya, látható és infravörös tartományában lehetővé teszi a valós idejű feldolgozást, valamint a külső lámpafűtők használatát a gyors hőfeldolgozáshoz (RTP).

Megerősített tömítőfelületek – Az edény nyakán egy speciálisan kifejlesztett, átlátszatlan fehér tömítés található (ezt köszörült csatlakozásnak is nevezik), amely hermetikus (levegőzáras) és vákuumtömör felületet biztosít a reaktor alaplemeze és az edény között.

Lágyítás a feszültség enyhítésére – Minden 15"-es Quartz Bell Jar szigorú termikus izzítási folyamaton megy keresztül, hogy enyhítse a belső mechanikai feszültséget, amely az edényre a fúvással vagy formázással járó mechanikai folyamat következtében keletkezett, így jelentősen csökken annak az esélye, hogy az edény spontán meghibásodjon, ha vákuumterhelés alá helyezik.

3. Kritikus alkalmazások a Semiconductor Fab

A 15"-es Quartz Bell Jar-ünket kifejezetten a következő nagy értékű folyamatokba való integrálásra tervezték:

Szilícium epitaxia: Átlátszó, nem reakcióképes edény biztosítása kiváló minőségű egykristályos szilíciumrétegek termesztéséhez.

Plasma Enhanced CVD (PECVD): Ellenáll a korrozív plazmakörnyezetnek, miközben megőrzi a magas dielektromos szilárdságot.

Diffúzió és oxidáció: Tiszta, magas hőmérsékletű kamraként szolgál a kapuoxidok képződéséhez és az adalékanyag behajtásához.

Optikai szál előformák gyártása: Ideális szilícium-dioxid rétegek nagy tisztaságú leválasztásához speciális üveggyártás során.

A Semicorexnél minden csengettyűt precíziós laboratóriumi berendezésként kezelünk. Eljárásunk a következőket tartalmazza: Szigorú anyagbeszerzés ellenőrzött elektronikus minőséggelkvarcrúd; fejlett gyártás, amely egyesíti a hagyományos üvegfúvás készségeket a CNC-vezérlésű csiszolással és polírozással; és alapos ellenőrzés polarizált fény segítségével a maradék feszültség kimutatására és lézer interferometria a pontos méretellenőrzés érdekében.