CVD és CVI vákuumkemencék

A Semicorex CVD és CVI Vacuum Furnace egy kiváló minőségű eszköz, amelyet kémiai gőzleválasztási (CVD) folyamatokhoz terveztek. A reakció hőmérséklete elérheti a 2200 °C-ot. Sokféle anyag lerakódására képes, beleértve a szilícium-karbidot, bór-nitridet, grafént stb. A CVD kemence robusztus kialakítású és kiváló minőségű anyagokból készült, így biztosítja a megbízhatóságot és a tartósságot a hosszú távú használathoz. Vízszintes és függőleges szerkezetekkel is rendelkezik.

Alkalmazás:C/C kompozit féktárcsa, tégely, forma stb.

A Semicorex CVD és CVI vákuumkemencék jellemzői

1. Kiváló minőségű anyagokból készült robusztus kialakítás a hosszú távú használatra;

2. Pontosan szabályozott gázszállítás tömegáram-szabályozók és jó minőségű szelepek használatával;

3. Felszerelve olyan biztonsági funkciókkal, mint például a túlmelegedés elleni védelem és a gázszivárgás észlelése a biztonságos és megbízható működés érdekében;

4. Több hőmérséklet-szabályozási zóna használata, nagy hőmérsékleti egyenletesség;

5. Speciálisan tervezett lerakódási kamra jó tömítő hatással és kiváló szennyeződésgátló teljesítménnyel;

6. Több leválasztási csatorna használata egyenletes gázáramlással, lerakódási holtsarkok és tökéletes leválasztási felület nélkül;

7. Kezeli a kátrányt, a szilárd port és a szerves gázokat a leválasztási folyamat során

Választható funkciók:

â¢Kemenceajtó: csavaros/hidraulikus/kézi emelés típusú; lengőnyílás/párhuzamos nyitás (nagy méret

kemenceajtó); kézi feszes/ auto lock-ring feszes

⢠Kemencetartály: teljes szénacél/belső réteg rozsdamentes acél/minden rozsdamentes acél

• A kemence forró zónája: puha szénfilc/puha grafitfilc/merev kompozit filc/CFC

• Fűtőelem és hangtompító: izosztatikus présgrafit/nagy tisztaságú, szilárdságú és sűrűségű grafit/finom méretű grafit

• Technológiai gázrendszer: térfogat/tömegáram-mérő

• Hőelem: K típusú/N típusú/C típusú/S típusú

*A fenti paraméterek a folyamatkövetelményekhez állíthatók, nem minősülnek átvételi szabványnak, a részletspecifikáció. a műszaki ajánlatban és a megállapodásokban szerepel.