CVD és CVI vákuumkemencék

A Semicorex a szilícium-karbid bevonatú termékek nagyszabású gyártója és szállítója Kínában. Egyedi kemence megoldásokat kínálunk. CVD és CVI vákuumkemencéink jó árelőnnyel rendelkeznek, és számos európai és amerikai piacot lefednek. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk.

Kérdés küldése

termékleírás

A Semicorex CVD és CVI Vacuum Furnace egy kiváló minőségű eszköz, amelyet kémiai gőzleválasztási (CVD) folyamatokhoz terveztek. A reakció hőmérséklete elérheti a 2200 °C-ot. Sokféle anyag lerakódására képes, beleértve a szilícium-karbidot, bór-nitridet, grafént stb. A CVD kemence robusztus kialakítású és kiváló minőségű anyagokból készült, így biztosítja a megbízhatóságot és a tartósságot a hosszú távú használathoz. Vízszintes és függőleges szerkezetekkel is rendelkezik.

Alkalmazás:C/C kompozit féktárcsa, tégely, forma stb.

A Semicorex CVD és CVI vákuumkemencék jellemzői

1. Kiváló minőségű anyagokból készült robusztus kialakítás a hosszú távú használatra;

2. Pontosan szabályozott gázszállítás tömegáram-szabályozók és jó minőségű szelepek használatával;

3. Felszerelve olyan biztonsági funkciókkal, mint a túlmelegedés elleni védelem és a gázszivárgás észlelése a biztonságos és megbízható működés érdekében;

4.Több hőmérséklet-szabályozási zóna használata, nagy hőmérsékleti egyenletesség;

5. Speciálisan tervezett lerakó kamra jó tömítő hatással és nagy szennyeződésgátló teljesítménnyel;

6. Több leválasztási csatorna használata egyenletes gázáramlással, lerakódási holtsarkok és tökéletes leválasztási felület nélkül;

7. Kezeli a kátrányt, a szilárd port és a szerves gázokat a leválasztási folyamat során

Választható funkciók:

•Kemenceajtó: csavaros/hidraulikus/kézi emelésű; lengőnyílás/párhuzamos nyitás (nagy méret

kemenceajtó); kézi feszes/ auto lock-ring feszes

• Kemencetartály: teljes szénacél/belső réteg rozsdamentes acél/minden rozsdamentes acél

•Kemence forró zóna: puha szénfilc/puha grafitfilc/merev kompozit filc/CFC

• Fűtőelem és tompa: izosztatikus présgrafit/nagy tisztaságú, szilárdságú és sűrűségű grafit/finom méretű grafit

• Technológiai gázrendszer: térfogat/tömegáram-mérő

• Hőelem: K típus/N típus/C típus/S típus

A CVD kemence specifikációi
Modell	Munkazóna mérete (Sz × Ma × M) mm	Max. Hőmérséklet (°C)	Hőmérséklet Egyenletesség (°C)	Végső vákuum (Pa)	Nyomásnövekedési sebesség (Pa/h)
LFH-6900-C	600×600×900	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-10015-C	1000×1000×1500	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-1220-C	1200×1200×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-1530-C	1500×1500×3000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-2535-C	2500×2000×3500	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D3050-C	φ300×500	1500	±5	1-100	0.67
LFV-D6080-C	φ600×800	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D8120-C	φ800×1200	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D11-C	φ1100×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D26-C	φ2600×3200	1500	±10	1-100	0.67

*A fenti paraméterek a folyamatkövetelményekhez állíthatók, nem minősülnek átvételi szabványnak, a részletspecifikáció. a műszaki ajánlatban és a megállapodásokban szerepel.