CVD vegyi gőzleválasztásos kemencék

A CVD-hez és CVI-hez tervezett Semicorex CVD kémiai gőzfázisú kemencék anyagok hordozóra történő lerakására szolgálnak. A reakció hőmérséklete elérheti a 2200 °C-ot. A tömegáram-szabályozók és a moduláló szelepek koordinálják a reaktáns- és vivőgázokat, mint az N, H, Ar, CO2, metán, szilícium-tetraklorid, metil-triklór-szilán és ammónia. A lerakott anyagok közé tartozik a szilícium-karbid, a pirolitikus szén, a bór-nitrid, a cink-szelenid és a cink-szulfid. A CVD kémiai gőzleválasztásos kemencék vízszintes és függőleges szerkezetűek is.

Alkalmazás:SiC bevonat C/C kompozit anyagokhoz, SiC bevonat grafithoz, SiC, BN és ZrC bevonat szálhoz stb.

A Semicorex CVD kémiai gőzfázisú kemencék jellemzői

1. Kiváló minőségű anyagokból készült robusztus kialakítás a hosszú távú használatra;

2. Pontosan szabályozott gázszállítás tömegáram-szabályozók és jó minőségű szelepek használatával;

3. Felszerelve olyan biztonsági funkciókkal, mint például a túlmelegedés elleni védelem és a gázszivárgás észlelése a biztonságos és megbízható működés érdekében;

4. Több hőmérséklet-szabályozási zóna használata, nagy hőmérsékleti egyenletesség;

5. Speciálisan tervezett lerakódási kamra jó tömítő hatással és kiváló szennyeződésgátló teljesítménnyel;

6. Több leválasztási csatorna használata egyenletes gázáramlással, lerakódási holtsarkok és tökéletes leválasztási felület nélkül;

7. Kezeli a kátrányt, a szilárd port és a szerves gázokat a leválasztási folyamat során

*A fenti paraméterek a folyamatkövetelményekhez állíthatók, nem minősülnek átvételi szabványnak, a részletspecifikáció. a műszaki ajánlatban és a megállapodásokban szerepel.