itthon > Termékek > CVD kemence > CVD vegyi gőzleválasztásos kemencék
CVD vegyi gőzleválasztásos kemencék

CVD vegyi gőzleválasztásos kemencék

A Semicorex CVD kémiai gőzleválasztásos kemencék hatékonyabbá teszik a kiváló minőségű epitaxia gyártását. Egyedi kemence megoldásokat kínálunk. CVD vegyi gőzleválasztásos kemencéink jó árelőnnyel rendelkeznek, és lefedik a legtöbb európai és amerikai piacot. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.

Kérdés küldése

termékleírás

A CVD-hez és CVI-hez tervezett Semicorex CVD kémiai gőzfázisú kemencék anyagok hordozóra történő lerakására szolgálnak. A reakció hőmérséklete elérheti a 2200 °C-ot. A tömegáram-szabályozók és a moduláló szelepek koordinálják a reaktáns- és vivőgázokat, mint az N, H, Ar, CO2, metán, szilícium-tetraklorid, metil-triklór-szilán és ammónia. A lerakott anyagok közé tartozik a szilícium-karbid, a pirolitikus szén, a bór-nitrid, a cink-szelenid és a cink-szulfid. A CVD kémiai gőzleválasztásos kemencék vízszintes és függőleges szerkezetűek is.


Alkalmazás:SiC bevonat C/C kompozit anyagokhoz, SiC bevonat grafithoz, SiC, BN és ZrC bevonat szálhoz stb.


A Semicorex CVD kémiai gőzleválasztásos kemencék jellemzői

1. Kiváló minőségű anyagokból készült robusztus kialakítás a hosszú távú használatra;

2. Pontosan szabályozott gázszállítás tömegáram-szabályozók és jó minőségű szelepek használatával;

3. Felszerelve olyan biztonsági funkciókkal, mint a túlmelegedés elleni védelem és a gázszivárgás észlelése a biztonságos és megbízható működés érdekében;

4.Több hőmérséklet-szabályozási zóna használata, nagy hőmérsékleti egyenletesség;

5. Speciálisan tervezett lerakó kamra jó tömítő hatással és nagy szennyeződésgátló teljesítménnyel;

6. Több leválasztási csatorna használata egyenletes gázáramlással, lerakódási holtsarkok és tökéletes leválasztási felület nélkül;

7. Kezeli a kátrányt, a szilárd port és a szerves gázokat a leválasztási folyamat során


A CVD kemence specifikációi

Modell

Munkazóna mérete

(Sz × Ma × M) mm

Max. Hőmérséklet (°C)

Hőmérséklet

Egyenletesség (°C)

Végső vákuum (Pa)

Nyomásnövekedési sebesség (Pa/h)

LFH-6900-SiC

600×600×900

1500

±7,5

1-100

0.67

LFH-10015-SiC

1000×1000×1500

1500

±7,5

1-100

0.67

LFH-1220-SiC

1200×1200×2000

1500

±10

1-100

0.67

LFH-1530-SiC

1500×1500×3000

1500

±10

1-100

0.67

LFH-2535-SiC

2500×2000×3500

1500

±10

1-100

0.67

LFV-D3050-SiC

φ300×500

1500

±5

1-100

0.67

LFV-D6080-SiC

φ600×800

1500

±7,5

1-100

0.67

LFV-D8120-SiC

φ800×1200

1500

±7,5

1-100

0.67

LFV-D11-SiC

φ1100×2000

1500

±10

1-100

0.67

LFV-D26-SiC

φ2600×3200

1500

±10

1-100

0.67

*A fenti paraméterek a folyamatkövetelményekhez állíthatók, nem minősülnek átvételi szabványnak, a részletspecifikáció. a műszaki ajánlatban és a megállapodásokban szerepel.




Hot Tags: CVD vegyi gőzleválasztó kemencék, Kína, gyártók, beszállítók, gyári, testreszabott, tömeges, fejlett, tartós
Kapcsolódó kategória
Kérdés küldése
Kérdését az alábbi űrlapon adja meg. 24 órán belül válaszolunk.
Kapcsolódó termékek
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept