Bevonat a félvezető szilícium egykristályok hőterében

A félvezető szilícium egykristályos forró mezőben lévő bevont részeket általában CVD-módszerrel vonják be, beleértve a pirolitikus szénbevonatot,Szilícium-karbid bevonatésTantál-karbid bevonat, mindegyik más-más tulajdonsággal rendelkezik.

Közös pontok: a szubsztrátum nagy tisztaságú izosztatikus grafit, általában kevesebb, mint 5 ppm hamu; bevonatokat alkalmaznak CVD módszerrel; a bevonat alapvetően 100% szén vagy szilícium-karbid; bevonatolás után a felület viszonylag sűrű, a gáz, különösen a kemence szilíciumgőz vagy szilícium-oxid gáz alapvetően blokkolható; saját porpárolgása is nagyon csekély.

Különbségek: a bevonat szabványos vastagsága, a pirolitikus szénbevonat általában körülbelül 40 um; A szilícium-karbid bevonat általában körülbelül 100 um, de az ügyfelek különböző igényei szerint 30 um - 150 um között végezhető, beleértve egy bevonatot és két bevonatot; A tantál-karbid bevonat általában 35±15 um.

Pirolitikus szénbevonat, sűrűsége megegyezik a nem porózus grafitéval, ami kb. 2,2. Alacsony ellenállású és nagy hővezető képességgel rendelkezik a felület párhuzamos irányában, így meg tudja tartani a felületi hőmérséklet állandóságát, emellett alacsony hőtágulási együtthatója és magas rugalmassági modulusa van. A felületre merőleges irányban nagyobb a hőtágulási együttható és kisebb a hővezető képesség.

A szilícium-karbid bevonatú termékeknél a bevonat rugalmassági modulusa nagyon magas, több tízszerese a belső grafit hordozó rugalmassági modulusának, ezért a termék elszakadásának elkerülése érdekében óvatosan kell bánni vele.

A pirolitikus szénbevonat és a szilícium-karbid bevonat összes szennyezőanyag-tartalma kevesebb, mint 5 ppm, ahol a fő fémelem-tartalom kisebb, mint 0,1 vagy 0,01 ppm, a nehezebben kezelhető bór elem 0,01 vagy 0,15 ppm.

A Semicorex kiváló minőségű CVD bevonat terméket kínál félvezetőkhöz személyre szabott szolgáltatással. Ha kérdése van, vagy további részletekre van szüksége, kérjük, ne habozzon kapcsolatba lépni velünk.

Telefonszám: +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com