Mi az a SiC hajó, és mik a különféle gyártási folyamatai?

1. A különböző gyártási folyamatokSiC csónak

(1) Bevonat egy rétegSiC fóliaa grafit felületénkristály csónakokCVD-n keresztül

Ez a fajta csónak grafit maggal rendelkezik, amely egy darabból van megmunkálva. Azonban,a grafit porózusés hajlamos a részecskeképződésre, ami szükségessé teszi aSiC fóliabevonata felületén. A hőtágulási együttható (CTE) eltérése miatt a grafittest és aSiC fólia, a bevonat valószínűleg többszöri fűtési és hűtési ciklus után levál, ami részecskék szennyeződéséhez vezet. Ezek a hajók a legolcsóbbak, élettartamuk körülbelül egy év.

(2) Bevonat egy rétegSiC fóliaátkristályosítvaSiC kristály csónakok

ÁtkristályosodottSiC hajókporózusak is, és könnyen képezhetnek részecskéket. Ezért az egyes komponensek az átkristályosodottSiC hajókelőformázni, szinterezni, majd külön megmunkálni. Ezt követően a komponenseket Si-pasztával magas hőmérsékleten összeragasztják. Miután összeállították egyetlen csónakba, aSiC fóliaCVD-n keresztül alkalmazzák. Ez átkristályosodottSiC hajóa leghosszabb gyártási folyamattal rendelkezik, és költséges, de a felületCVD bevonatis megsérülhet, élettartama körülbelül három év.

(3)MonolitikusSiC kristály csónakok

Ezekcsónakokteljes egészében SiC anyagból állnak. A szilícium-karbid-port monolit csónak alakjára kell önteni és szinterezni. Rendkívül költségesek, nagyon tartósak és kevésbé valószínű, hogy részecskéket termelnek. Ezek a csónakok azonban 10-15% szabad szilíciumot tartalmaznak, amely érzékeny a fluor és klór által okozott erózióra, ami részecskék szennyeződéséhez vezet.

2. Miért nem ajánlott a vegytisztítás?

Összefoglalva azértSiC hajókbevonva aSiC fólia CVD-n keresztül, a felületi bevonat a száraz tisztítás során hajlamos a hámlásra, ami szemcseszennyeződést okoz. MonolithozSiC hajókamelyek kis mennyiségű szabad szilíciumot tartalmaznak, a fluort vagy klórt tartalmazó gázoknak való kitettség erózióhoz és részecskeképződéshez vezethet, ezáltal szennyeződést okozhat.**