Az elektrosztatikus tokmány (ESC) szerkezete

AnElektrosztatikus tokmány (ESC)egy olyan eszköz, amelyet a félvezető lapkák helyén tartására használnak olyan folyamatok során, mint a maratás, felhordás vagy polírozás. Elektrosztatikus mező létrehozásával működik, amely vonzza és biztonságosan tartja az ostyát a tokmány felületén, stabilitást és pontos beállítást biztosítva az ostya kezelése során. Az ESC-ket széles körben használják a félvezetőgyártásban, hogy javítsák a folyamat pontosságát és a lapkakezelés hatékonyságát.

A hagyományos képeelektrosztatikus tokmány (ESC)ábrán látható. A modellek közötti elsődleges különbség az elektrosztatikus tokmány felületén lévő szigetelőréteg anyagában rejlik. Az ábrán a sötét szín az alumínium-nitridot, míg a fehér szín az alumínium-oxidot jelöli. A szerkezet aelektrosztatikus tokmánytöbb részből áll:

1. **Szigetelő réteg**: Ez a réteg érintkezik az ostyával, amely jellemzően alumínium-nitridből vagy alumínium-oxid kerámiából készül, kiváló mechanikai szilárdsága, magas hőmérséklet-állósága és jó hővezető képessége miatt.

2. **Kidobó tüske és He Gas Hole**: A kilökőcsap az ostya átvitelére szolgál. Amikor az ostya belép a maratókamrába, a kilökőcsap felemelkedik, hogy megtámassza, majd leereszkedik, hogy az ostyát az elektrosztatikus tokmány felületére helyezze. A kilökőcsap általában üreges szerkezetű, lehetővé téve héliumgáz bevezetését az ostya hűtése érdekében.

3. **Back He Flow Channel**: Ez a komponens fokozza a hőelvezetést és megkönnyíti az ostya adszorpcióját.

4. **Elektrosztatikus elektróda**: Ez az elektróda elektromos mezőt hoz létre, amely létrehozza a lapka helyén tartásához szükséges elektrosztatikus erőt. Az elektróda jellemzően sík, és vagy be van ágyazva a szigetelőanyagba, vagy rá van helyezve. Az általánosan használt vezető anyagok közé tartozik az alumínium, a réz és a volfrám.

5. **Cirkulációs hűtővíz és fűtőelektróda**: Ezek az elemek elsősorban az elektrosztatikus tokmány általános hőmérsékletszabályozásáért felelősek. A fűtőelektróda és a keringő hűtővíz párhuzamosan működik, hogy fenntartsa az ostya stabil hőmérsékletét. Ha kizárólag a keringető hűtővízre hagyatkozik, az képtelenséghez vezethet a maratási folyamat során keletkező hő kezelésére, ami potenciálisan veszélyezteti a folyamat stabilitását.  

A Semicorex kiváló minőséget kínálElektrosztatikus tokmány (ESC). Ha kérdése van, vagy további részletekre van szüksége, kérjük, ne habozzon kapcsolatba lépni velünk.

Telefonszám: +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com