A homoepitaxia és a heteroepitaxia kulcsszerepet játszik az anyagtudományban. A homoepitaxia során egy kristályos réteget növesztünk egy azonos anyagú hordozón, ami minimális hibákat biztosít a tökéletes rácsillesztés miatt. Ezzel szemben a heteroepitaxia kristályos réteget növeszt egy másik anyagú ......
Olvass továbbA 300 mm átmérőjű szilícium polírozó lapkák 0,13 μm-nél kisebb vonalszélességű IC chip áramköri folyamatainak magas minőségi követelményeinek eléréséhez elengedhetetlen a szennyeződések, például fémionok okozta szennyeződések minimalizálása az ostya felületén.
Olvass tovább