A 3C-SiC, a szilícium-karbid jelentős politípusának kifejlesztése a félvezető anyagtudomány folyamatos fejlődését tükrözi. Az 1980-as években Nishino et al. először egy 4 μm vastag 3C-SiC filmet ért el szilícium hordozón kémiai gőzleválasztással (CVD)[1], megalapozva ezzel a 3C-SiC vékonyréteg-techn......
Olvass továbbA vastag, nagy tisztaságú szilícium-karbid (SiC) rétegek, amelyek általában meghaladja az 1 mm-t, kritikus alkotóelemek különféle nagy értékű alkalmazásokban, beleértve a félvezetőgyártást és az űrtechnológiákat. Ez a cikk az ilyen rétegek előállításának kémiai gőzfázisú leválasztási (CVD) eljárásáv......
Olvass továbbAz egykristályos szilícium és a polikristályos szilícium mindegyikének megvannak a maga egyedi előnyei és alkalmazható forgatókönyvei. Az egykristályos szilícium kiváló elektromos és mechanikai tulajdonságai miatt alkalmas nagy teljesítményű elektronikai termékekhez és mikroelektronikához. A polikri......
Olvass továbbAz ostyakészítés folyamatában két fő láncszem van: az egyik a szubsztrát előkészítése, a másik az epitaxiális folyamat megvalósítása. A szubsztrát, egy félvezető egykristály anyagból gondosan elkészített ostya, közvetlenül felhasználható az ostyagyártási folyamatban félvezető eszközök gyártásának al......
Olvass továbbA Chemical Vapor Deposition (CVD) egy sokoldalú vékonyréteg-leválasztási technika, amelyet a félvezetőiparban széles körben alkalmaznak kiváló minőségű, konform vékony filmek előállítására különböző hordozókon. Ez a folyamat magában foglalja a gáz-halmazállapotú prekurzorok kémiai reakcióit a fűtött......
Olvass tovább