Termékek

Ha az ostyakezelési eljárásokról van szó, mint például az epitaxia és a MOCVD, a Semicorex magas hőmérsékletű SiC bevonata plazmamaratási kamrákhoz a legjobb választás. A finom SiC kristály bevonatnak köszönhetően hordozóink kiváló hőállóságot, egyenletes termikus egyenletességet és tartós vegyszerállóságot biztosítanak.

A Semicorex ICP plazmamaratási tálcáját kifejezetten olyan magas hőmérsékletű ostyakezelési eljárásokhoz tervezték, mint az epitaxia és a MOCVD. A stabil, akár 1600°C-ig terjedő magas hőmérsékletű oxidációs ellenállással hordozóink egyenletes hőprofilt, lamináris gázáramlási mintákat biztosítanak, és megakadályozzák a szennyeződéseket vagy a szennyeződések diffúzióját.

A Semicorex SiC bevonatos hordozója az ICP plazmamaratási rendszerhez megbízható és költséghatékony megoldás a magas hőmérsékletű ostyakezelési eljárásokhoz, mint például az epitaxia és a MOCVD. Hordozóink finom SiC kristály bevonattal rendelkeznek, amely kiváló hőállóságot, egyenletes termikus egyenletességet és tartós vegyszerállóságot biztosít.

A Semicorex szilícium-karbid bevonatú szuszceptorát induktív csatolású plazmához (ICP) kifejezetten magas hőmérsékletű lapkakezelési eljárásokhoz tervezték, mint például az epitaxia és a MOCVD. A stabil, akár 1600°C-ig terjedő magas hőmérsékletű oxidációs ellenállással hordozóink egyenletes hőprofilt, lamináris gázáramlási mintákat biztosítanak, és megakadályozzák a szennyeződéseket vagy a szennyeződések diffúzióját.

A Semicorex ICP maratott ostyatartója tökéletes megoldás a magas hőmérsékletű ostyakezelési eljárásokhoz, mint például az epitaxia és a MOCVD. A stabil, akár 1600°C-ig terjedő magas hőmérsékletű oxidációs ellenállással hordozóink egyenletes hőprofilt, lamináris gázáramlási mintákat biztosítanak, és megakadályozzák a szennyeződéseket vagy a szennyeződések diffúzióját.

A Semicorex ICP maratott hordozólemeze tökéletes megoldás az igényes ostyakezelési és vékonyréteg-lerakási eljárásokhoz. Termékünk kiváló hő- és korrózióállóságot, egyenletes termikus egyenletességet és lamináris gázáramlási mintákat biztosít. Tiszta és sima felületével hordozónk tökéletes az érintetlen ostyák kezelésére.