itthon > Termékek > Szilícium-karbid bevonatú > ICP rézkarchordozó > SiC bevonatú ICP maratási hordozó
SiC bevonatú ICP maratási hordozó
  • SiC bevonatú ICP maratási hordozóSiC bevonatú ICP maratási hordozó
  • SiC bevonatú ICP maratási hordozóSiC bevonatú ICP maratási hordozó
  • SiC bevonatú ICP maratási hordozóSiC bevonatú ICP maratási hordozó

SiC bevonatú ICP maratási hordozó

Semicorex SiC bevonatú ICP maratási hordozó, amelyet kifejezetten nagy hő- és korrózióálló epitaxiás berendezésekhez terveztek Kínában. Termékeink jó árelőnnyel rendelkeznek, és számos európai és amerikai piacot lefednek. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.

Kérdés küldése

termékleírás

A vékonyréteg-leválasztási fázisokban, például epitaxiás vagy MOCVD-ben, vagy az ostyakezelési eljárásokban, például maratáshoz használt ostyahordozóknak ki kell állniuk a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást. A Semicorex nagy tisztaságú SiC bevonatú ICP maratási hordozója kiváló hőállóságot, egyenletes termikus egyenletességet biztosít az egyenletes epiréteg vastagság és ellenállás érdekében, valamint tartós vegyszerállóság. A finom SiC kristály bevonat tiszta, sima felületet biztosít, ami kritikus a kezeléshez, mivel az érintetlen ostyák a teljes területükön számos ponton érintkeznek a szuszceptorral.

SiC bevonatú ICP maratási hordozónkat úgy tervezték, hogy a legjobb lamináris gázáramlási mintát érje el, biztosítva a hőprofil egyenletességét. Ez segít megelőzni a szennyeződéseket vagy a szennyeződések diffúzióját, biztosítva a jó minőségű epitaxiális növekedést az ostya chipen.

Lépjen kapcsolatba velünk még ma, ha többet szeretne megtudni a SiC bevonatú ICP maratási hordozónkról.


A SiC bevonatú ICP maratási hordozó paraméterei

A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi

SiC-CVD tulajdonságai

Kristályos szerkezet

FCC β fázis

Sűrűség

g/cm³

3.21

Keménység

Vickers keménység

2500

Szemcseméret

μm

2~10

Kémiai tisztaság

%

99.99995

Hőkapacitás

J·kg-1 ·K-1

640

Szublimációs hőmérséklet

2700

Felexurális Erő

MPa (RT 4 pontos)

415

Young's Modulus

Gpa (4 pt kanyar, 1300º)

430

Hőtágulás (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Hővezető

(W/mK)

300


A nagy tisztaságú SiC bevonatú ICP maratási hordozó jellemzői

- Kerülje a leválást, és gondoskodjon a bevonatról minden felületen

Magas hőmérsékletű oxidációállóság: Stabil magas hőmérsékleten 1600°C-ig

Nagy tisztaságú: CVD kémiai gőzleválasztással készült magas hőmérsékletű klórozási körülmények között.

Korrózióállóság: nagy keménység, sűrű felület és finom részecskék.

Korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.

- A legjobb lamináris gázáramlási minta elérése

- Garantálja a termikus profil egyenletességét

- Kerülje el a szennyeződést vagy a szennyeződések diffúzióját




Hot Tags: SiC bevonatú ICP maratási hordozó, Kína, gyártók, beszállítók, gyári, testreszabott, tömeges, fejlett, tartós

Kapcsolódó kategória

Kérdés küldése

Kérdését az alábbi űrlapon adja meg. 24 órán belül válaszolunk.