A Semicorex az Ön partnere a félvezető-feldolgozás fejlesztésében. Szilícium-karbid bevonataink sűrűek, magas hőmérséklet- és vegyszerállóak, amelyeket gyakran használnak a félvezetőgyártás teljes ciklusában, beleértve a félvezető lapkák és lapkák feldolgozását és a félvezető gyártást.
A nagy tisztaságú SiC kerámia alkatrészek kulcsfontosságúak a félvezető folyamatokban. Kínálatunk az ostyafeldolgozó berendezések fogyóeszköz-alkatrészeitől, például szilícium-karbid ostyahajótól, konzolos lapátoktól, csövektől stb. terjed az Epitaxy vagy MOCVD számára.
A félvezető eljárások előnyei
A vékonyréteg-lerakódási fázisoknak, mint például az epitaxia vagy a MOCVD, vagy az ostyakezelési folyamatoknak, mint például a maratás vagy az ionimplantáció, el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást. A Semicorex nagy tisztaságú szilícium-karbid (SiC) konstrukció kiváló hőállóságot és tartós vegyszerállóságot, egyenletes termikus egyenletességet biztosít az egyenletes epiréteg vastagság és ellenállás érdekében.
Kamrafedelek →
A kristálynövekedéshez és az ostyakezeléshez használt kamrafedeleknek el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást.
Konzolos lapát →
A konzolos lapát kulcsfontosságú alkatrész, amelyet a félvezetőgyártási folyamatokban használnak, különösen a diffúziós vagy LPCVD kemencékben olyan folyamatok során, mint a diffúzió és az RTP.
Process Tube →
A Process Tube kulcsfontosságú alkatrész, amelyet kifejezetten különféle félvezető-feldolgozási alkalmazásokhoz terveztek, mint például az RTP, a diffúzió.
Ostyahajók →
A Wafer Boat-ot félvezető-feldolgozásban használják, és aprólékosan megtervezték, hogy a finom ostyák biztonságban legyenek a gyártás kritikus szakaszaiban.
Bemeneti gyűrűk →
SiC bevonatú gázbevezető gyűrű MOCVD berendezéssel A vegyületnövekedés magas hő- és korrózióállósággal rendelkezik, amely rendkívül stabil extrém környezetben.
Fókuszgyűrű →
A Semicorex kellékei A szilícium-karbid bevonatú fókuszgyűrű igazán stabil RTA, RTP vagy durva vegyszeres tisztításhoz.
Ostya Chuck →
A Semicorex ultra-lapos kerámia vákuum ostyatokmányok nagy tisztaságú SiC bevonattal vannak ellátva az ostyakezelési folyamat során.
A Semicorexnek vannak kerámiatermékei alumínium-oxidból (Al2O3), szilícium-nitridből (Si3N4), alumínium-nitridből (AIN), cirkónium-dioxidból (ZrO2), kompozit kerámiából stb.
A Semicorex Szilícium-karbid lapos membrán egy nagy teljesítményű kerámia szűrő megoldás, amely kivételes kémiai ellenállásáról, hőstabilitásáról és kiváló szűrési hatékonyságáról híres. A SEMICOREX kiválasztása azt jelenti, hogy az iparágvezető technológiát választja, amelyet a legmodernebb gyártási folyamatok és a megbízható, költséghatékony megoldások megvalósítása mellett, amelyek megfelelnek a legkeményebb szűrési kihívásoknak.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex Szilícium-karbid kompozit membrán egy fejlett szűrőoldat, amely ötvözi a szilícium-karbid, alumínium-oxid és kalcium-oxid kiváló tulajdonságait, hogy nagy teljesítményű szűrést biztosítson az iparágak széles skáláján. A Semicorex a legmegfelelőbb választás ennek a legmodernebb technológiának, amely páratlan minőséget, megbízhatóságot és testreszabott megoldásokat kínál, amelyek biztosítják az optimális hatékonyságot és a hosszú távú teljesítményt a szűrési igényekhez.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex Szilícium -karbid membrán fejlett szűrési oldatok, amelyek kiváló kémiai, termikus és mechanikai ellenállást kínálnak, ideálisak az igényes ipari alkalmazásokhoz. Válassza a Semicorex lehetőséget a jó minőségű, tartós membránokhoz, amelyek tartós teljesítményt, hatékonyságot és megbízhatóságot biztosítanak, biztosítva az optimális eredményeket minden szűrési folyamatban.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SIC membrán egy nagy teljesítményű kerámia szűrő megoldás, amely nagy tisztességes szilícium-karbidból készül, amelyet az ipari szűrés kihívása érdekében terveztek. Válassza a Semicorex lehetőséget a megbízható, tartós és hatékony SIC membránokhoz, amelyek kivételes teljesítményt és hosszú távú értéket biztosítanak a legigényesebb környezetben is.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex Vacuum Chucks tökéletes megoldás az ostya kezelésére a félvezető és a precíziós iparban. Különböző alapanyag -lehetőségekkel, kerámia lemezek testreszabásával és pontos lapos -ellenőrzésével a vákuumfürtök biztosítják az ostya megbízható stabilitását és kiváló folyamat eredményeit. A modern félvezető gyártás szigorú követelményeinek kielégítésére tervezték, ezek a Chucks páratlan teljesítményt nyújt, biztosítva, hogy folyamatait hatékony és költséghatékony maradjon.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex porózus SIC vákuum -chuck -ot pontos és megbízható ostyakezelésre tervezték, testreszabható anyagi lehetőségeket kínálva a félvezető feldolgozási igények széles skálájának kielégítésére. Válassza a Semicorex lehetőséget a kiváló minőségű, tartós megoldások iránti elkötelezettségéért, amely minden alkalmazásban optimális teljesítményt és hatékonyságot biztosít.*
Olvass továbbKérdés küldése