A Semicorex az Ön partnere a félvezető-feldolgozás fejlesztésében. Szilícium-karbid bevonataink sűrűek, magas hőmérséklet- és vegyszerállóak, amelyeket gyakran használnak a félvezetőgyártás teljes ciklusában, beleértve a félvezető lapkák és lapkák feldolgozását és a félvezető gyártást.
A nagy tisztaságú SiC kerámia alkatrészek kulcsfontosságúak a félvezető folyamatokban. Kínálatunk az ostyafeldolgozó berendezések fogyóeszköz-alkatrészeitől, például szilícium-karbid ostyahajótól, konzolos lapátoktól, csövektől stb. terjed az Epitaxy vagy MOCVD számára.
A félvezető eljárások előnyei
A vékonyréteg-lerakódási fázisoknak, mint például az epitaxia vagy a MOCVD, vagy az ostyakezelési folyamatoknak, mint például a maratás vagy az ionimplantáció, el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást. A Semicorex nagy tisztaságú szilícium-karbid (SiC) konstrukció kiváló hőállóságot és tartós vegyszerállóságot, egyenletes termikus egyenletességet biztosít az egyenletes epiréteg vastagság és ellenállás érdekében.
Kamrafedelek →
A kristálynövekedéshez és az ostyakezeléshez használt kamrafedeleknek el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást.
Konzolos lapát →
A konzolos lapát kulcsfontosságú alkatrész, amelyet a félvezetőgyártási folyamatokban használnak, különösen a diffúziós vagy LPCVD kemencékben olyan folyamatok során, mint a diffúzió és az RTP.
Process Tube →
A Process Tube kulcsfontosságú alkatrész, amelyet kifejezetten különféle félvezető-feldolgozási alkalmazásokhoz terveztek, mint például az RTP, a diffúzió.
Ostyahajók →
A Wafer Boat-ot félvezető-feldolgozásban használják, és aprólékosan megtervezték, hogy a finom ostyák biztonságban legyenek a gyártás kritikus szakaszaiban.
Bemeneti gyűrűk →
SiC bevonatú gázbevezető gyűrű MOCVD berendezéssel A vegyületnövekedés magas hő- és korrózióállósággal rendelkezik, amely rendkívül stabil extrém környezetben.
Fókuszgyűrű →
A Semicorex kellékei A szilícium-karbid bevonatú fókuszgyűrű igazán stabil RTA, RTP vagy durva vegyszeres tisztításhoz.
Ostya Chuck →
A Semicorex ultra-lapos kerámia vákuum ostyatokmányok nagy tisztaságú SiC bevonattal vannak ellátva az ostyakezelési folyamat során.
A Semicorexnek vannak kerámiatermékei alumínium-oxidból (Al2O3), szilícium-nitridből (Si3N4), alumínium-nitridből (AIN), cirkónium-dioxidból (ZrO2), kompozit kerámiából stb.
A Semicorex SIC vákuumcsomók nagy teljesítményű kerámia szerelvények, amelyek a félvezető gyártásában a biztonságos ostya-adszorpcióhoz készültek. Kiváló termikus, mechanikai és kémiai tulajdonságokkal biztosítja a stabilitást és a pontosságot az igényes folyamatkörnyezetekben.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex PBN kompozit fűtőberendezések fejlett fűtési elemeket készítenek, amelyek magas hőmérsékletű, ultra-tiszta vákuumkörnyezetre készülnek, amelyet széles körben használnak félvezetőben, optoelektronikában és anyagkutatási iparban. Válassza a SEMICOREX lehetőséget az iparágvezető szakértelemhez, a kis tételű testreszabáshoz és a világszínvonalú minőséghez a PBN fűtési megoldásokban.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SIC konzolos lapátok nagy teljesítményű szilícium-karbid konzolos evezők, amelyeket félvezető termikus feldolgozó berendezésekben használnak, amelyeket stabil ostya-kezelésre terveztek magas hőmérsékletű környezetben. A SEMICOREX kiválasztása nagy tisztségű anyagok, kiváló hőstabilitás és az iparágban vezető precíziós gyártási technológia kiválasztását jelenti annak biztosítása érdekében, hogy minden kritikus folyamata stabil és megbízható legyen.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SIC hajótulajdonosok alapvető szerkezeti alkatrészek, amelyek biztosítják a pontos és megbízható ostya pozicionálását a félvezető termikus feldolgozásban. Válassza a Semicorex lehetőséget a páratlan minőséghez, a műszaki szakértelemhez, és elkötelezettséget a nagy tisztaságú SIC megoldások előmozdításához a félvezető gyártásban.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex ostyacsónakok precíziós formájú kerámia hordozók, amelyeket a magas hőmérsékletű ostyafeldolgozáshoz terveztek a félvezető gyártásában. Válassza a Semicorex lehetőséget a páratlan anyagi tisztasághoz, a fejlett gyártási technológiához és a minőség iránti elkötelezettséghez, amely biztosítja a következetes teljesítményt a legigényesebb tiszta helyiségben.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SIC csövek szilícium-karbid-kemencecsövek, amelyeket félvezető magas hőmérsékleti folyamatokhoz terveztek, kiváló hőstabilitással és kémiai korrózióállósággal. A Semicorex nagy tisztességes nyersanyagok, a precíziós gyártási folyamatok és a hosszú távú megbízhatósági garanciák kiválasztása, hogy szilárd támogatást nyújtson a félvezető gyártási folyamatához.*
Olvass továbbKérdés küldése