A Semicorex az Ön partnere a félvezető-feldolgozás fejlesztésében. Szilícium-karbid bevonataink sűrűek, magas hőmérséklet- és vegyszerállóak, amelyeket gyakran használnak a félvezetőgyártás teljes ciklusában, beleértve a félvezető lapkák és lapkák feldolgozását és a félvezető gyártást.
A nagy tisztaságú SiC kerámia alkatrészek kulcsfontosságúak a félvezető folyamatokban. Kínálatunk az ostyafeldolgozó berendezések fogyóeszköz-alkatrészeitől, például szilícium-karbid ostyahajótól, konzolos lapátoktól, csövektől stb. terjed az Epitaxy vagy MOCVD számára.
A félvezető eljárások előnyei
A vékonyréteg-lerakódási fázisoknak, mint például az epitaxia vagy a MOCVD, vagy az ostyakezelési folyamatoknak, mint például a maratás vagy az ionimplantáció, el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást. A Semicorex nagy tisztaságú szilícium-karbid (SiC) konstrukció kiváló hőállóságot és tartós vegyszerállóságot, egyenletes termikus egyenletességet biztosít az egyenletes epiréteg vastagság és ellenállás érdekében.
Kamrafedelek →
A kristálynövekedéshez és az ostyakezeléshez használt kamrafedeleknek el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást.
Konzolos lapát →
A konzolos lapát kulcsfontosságú alkatrész, amelyet a félvezetőgyártási folyamatokban használnak, különösen a diffúziós vagy LPCVD kemencékben olyan folyamatok során, mint a diffúzió és az RTP.
Process Tube →
A Process Tube kulcsfontosságú alkatrész, amelyet kifejezetten különféle félvezető-feldolgozási alkalmazásokhoz terveztek, mint például az RTP, a diffúzió.
Ostyahajók →
A Wafer Boat-ot félvezető-feldolgozásban használják, és aprólékosan megtervezték, hogy a finom ostyák biztonságban legyenek a gyártás kritikus szakaszaiban.
Bemeneti gyűrűk →
SiC bevonatú gázbevezető gyűrű MOCVD berendezéssel A vegyületnövekedés magas hő- és korrózióállósággal rendelkezik, amely rendkívül stabil extrém környezetben.
Fókuszgyűrű →
A Semicorex kellékei A szilícium-karbid bevonatú fókuszgyűrű igazán stabil RTA, RTP vagy durva vegyszeres tisztításhoz.
Ostya Chuck →
A Semicorex ultra-lapos kerámia vákuum ostyatokmányok nagy tisztaságú SiC bevonattal vannak ellátva az ostyakezelési folyamat során.
A Semicorexnek vannak kerámiatermékei alumínium-oxidból (Al2O3), szilícium-nitridből (Si3N4), alumínium-nitridből (AIN), cirkónium-dioxidból (ZrO2), kompozit kerámiából stb.
A Semicorex SiC Fin egy nagy tisztaságú szilícium-karbid kerámia alkatrész, amelyet pontosan perforált tárcsaszerkezettel terveztek a hatékony gáz- és folyadékáramlás-szabályozás érdekében az epitaxiás és marató berendezésekben. A Semicorex személyre szabott, nagy pontosságú alkatrészeket kínál, amelyek kiváló tartósságot, vegyszerállóságot és teljesítménystabilitást biztosítanak a félvezető-feldolgozási környezetben.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex továbbfejlesztett SiC lapka csiszolólemeze a precíziós megmunkálási alkatrész a félvezető lapkafelületek ultramagas síkságának eléréséhez. A Semicorex SiC ostyacsiszoló lemez kiválasztása túlmutat egy nagy teljesítményű szerszám kiválasztásán, hanem optimális, pontos, stabil és hatékony megoldást biztosít az ostyacsiszolási alkalmazásokhoz.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SiC Wafer Cassette egy nagy tisztaságú, precíziós tervezésű ostyakezelő komponens, amelyet úgy terveztek, hogy megfeleljen a fejlett félvezetőgyártás szigorú követelményeinek. A Semicorex a stabilitásra, tisztaságra és precizitásra épített megoldást kínál – biztosítja az ostyák biztonságos, megbízható szállítását és feldolgozását magas hőmérsékleten és ultratiszta környezetben.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex RB-SiC fényvisszaverő tükrök szilícium-karbidból készült optikai alkatrészek reakció-szinterelési eljárással. Kiváló hőstabilitással, nagy fajlagos merevséggel és kiváló optikai teljesítménnyel rendelkeznek.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex szénkerámia féktárcsák kivételes fékteljesítményt, termikus stabilitást és tartósságot biztosítanak a nagy teljesítményű és igényes alkalmazásokhoz. Válassza a Semicorexet a precíziós tervezésű szénkerámia technológiához, amely kiemelkedő megbízhatóságot, könnyű kialakítást és állandó teljesítményt biztosít extrém körülmények között is.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex Carbon Ceramic Composite CCB fékek bevonattal a nagy teljesítményű féktechnológia élvonalát képviselik, egyesítve a szén-kerámia anyagok kivételes termikus és mechanikai tulajdonságait a speciális felületi bevonatok által kínált fejlett védelemmel és tartóssággal. A Semicorex választása a megbízhatóság, a precizitás és a kiváló teljesítmény kiválasztását jelenti a legnehezebb körülmények között is – ahol az állandó fékerő, a hosszú élettartam és a biztonság nem alku tárgya.*
Olvass továbbKérdés küldése