A Semicorex az Ön partnere a félvezető-feldolgozás fejlesztésében. Szilícium-karbid bevonataink sűrűek, magas hőmérséklet- és vegyszerállóak, amelyeket gyakran használnak a félvezetőgyártás teljes ciklusában, beleértve a félvezető lapkák és lapkák feldolgozását és a félvezető gyártást.
A nagy tisztaságú SiC kerámia alkatrészek kulcsfontosságúak a félvezető folyamatokban. Kínálatunk az ostyafeldolgozó berendezések fogyóeszköz-alkatrészeitől, például szilícium-karbid ostyahajótól, konzolos lapátoktól, csövektől stb. terjed az Epitaxy vagy MOCVD számára.
A félvezető eljárások előnyei
A vékonyréteg-lerakódási fázisoknak, mint például az epitaxia vagy a MOCVD, vagy az ostyakezelési folyamatoknak, mint például a maratás vagy az ionimplantáció, el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást. A Semicorex nagy tisztaságú szilícium-karbid (SiC) konstrukció kiváló hőállóságot és tartós vegyszerállóságot, egyenletes termikus egyenletességet biztosít az egyenletes epiréteg vastagság és ellenállás érdekében.
Kamrafedelek →
A kristálynövekedéshez és az ostyakezeléshez használt kamrafedeleknek el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást.
Konzolos lapát →
A konzolos lapát kulcsfontosságú alkatrész, amelyet a félvezetőgyártási folyamatokban használnak, különösen a diffúziós vagy LPCVD kemencékben olyan folyamatok során, mint a diffúzió és az RTP.
Process Tube →
A Process Tube kulcsfontosságú alkatrész, amelyet kifejezetten különféle félvezető-feldolgozási alkalmazásokhoz terveztek, mint például az RTP, a diffúzió.
Ostyahajók →
A Wafer Boat-ot félvezető-feldolgozásban használják, és aprólékosan megtervezték, hogy a finom ostyák biztonságban legyenek a gyártás kritikus szakaszaiban.
Bemeneti gyűrűk →
SiC bevonatú gázbevezető gyűrű MOCVD berendezéssel A vegyületnövekedés magas hő- és korrózióállósággal rendelkezik, amely rendkívül stabil extrém környezetben.
Fókuszgyűrű →
A Semicorex kellékei A szilícium-karbid bevonatú fókuszgyűrű igazán stabil RTA, RTP vagy durva vegyszeres tisztításhoz.
Ostya Chuck →
A Semicorex ultra-lapos kerámia vákuum ostyatokmányok nagy tisztaságú SiC bevonattal vannak ellátva az ostyakezelési folyamat során.
A Semicorexnek vannak kerámiatermékei alumínium-oxidból (Al2O3), szilícium-nitridből (Si3N4), alumínium-nitridből (AIN), cirkónium-dioxidból (ZrO2), kompozit kerámiából stb.
A SEMICOREX CCB fékek (szén-kerámia fékek bevont súrlódási réteggel) a nagyteljesítményű fékmegoldások következő generációját képviselik, amelyet a szélsőséges tartósságra, a hőstabilitásra és a legigényesebb körülmények között a következetes fékezésre terveztek. Válassza a Semicorex lehetőséget a fejlett kerámia kompozitok és a precízióval tervezett bevonási technológiák szakértelméhez.*
Olvass továbbKérdés küldéseA fejlett szén-kerámia mátrix anyagokból készült Semicorex CCM fékek ideális megoldás a nagy teljesítményű fékezéshez extrém vezetési környezetben. Válassza a Semicorex lehetőséget a páratlan szakértelemhez a kerámia kompozit mérnöki munka, a precíziós gyártás és a következetes, faji bevált minőség elérése iránti elkötelezettségünkhöz.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex kerámia kompozit fűtőberendezések ultra-tiszta, nagy hatékonyságú fűtési teljesítményt biztosítanak a magas hőmérsékletű alkalmazások igénylésére. Válassza a Semicorex lehetőséget az iparágvezető anyag tisztaságához, a precíziós tervezéshez és a megbízható testreszabáshoz, amelyet a fejlett kerámia technológiákban szerzett évek szakértelme támogat.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex PBN fűtőberendezés rendkívül tiszta, magas hőmérsékletű teljesítményt kínál félvezető, kristálynövekedés és vákuum alkalmazásokhoz. Válassza a Semicorex lehetőséget a páratlan anyagi tisztasághoz, a mérnöki pontossághoz és a megbízható kézbesítéshez, amelyet a vezető globális gyártók megbíznak.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SIC kerámiahajók biztosítják a tisztaság, az erősség, a termikus ellenállás és a dimenziós pontosság optimális kombinációját a modern félvezető ostya feldolgozásának szigorú igényeihez. *
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SIC robot kezek nagy pontosságúak, ultrisztiszter véghatások, amelyek biztonságos és megbízható ostyaátvitelre tervezték a félvezető gyártásban.
Olvass továbbKérdés küldése