TaC bevonatú tégely

Bemutatjuk a CVD Tac bevonatos tégelyt, amely tökéletes megoldás a félvezető berendezések gyártóinak és a legmagasabb szintű minőséget és teljesítményt igénylő felhasználóknak. Tégelyeink a legmodernebb CVD Tac (tantál-karbid) réteggel vannak bevonva, amely kiváló korrózió- és kopásállóságot biztosít, így ideálisak különféle félvezető alkalmazásokhoz.

Kérdés küldése

termékleírás

Kiváló minőségű anyagokból készült és a legfejlettebb CVD Tac technológiával bevont tégelyeink kivételes teljesítményt és hosszú élettartamot biztosítanak. A CVD Tac bevonat rendkívül egyenletes, sűrű réteget biztosít, amely rendkívül ellenáll a vegyi hatásoknak, a kopásnak és a hősokknak. Ez biztosítja, hogy tégelyeink megőrizzék alakjukat és méreteiket ismételt használat után is, csökkentve a gyakori cserék szükségességét.

CVD Tac bevonatú tégelyeink a félvezető folyamatok széles skálájával is kompatibilisek, beleértve a kémiai gőzleválasztást (CVD), a fizikai gőzleválasztást (PVD) és az atomréteges leválasztást (ALD). Legyen szó mikrochipek, napelemek vagy más félvezető eszközök gyártásáról, tégelyeink segítenek az optimális eredmények elérésében.

A TaC bevonat paraméterei

Projektek	Paraméterek
Sűrűség	14,3 (gm/cm³)
Emissziós képesség	0.3
CTE (×10^-6/K)	6.3
Keménység (HK)	2000
Ellenállás (Ohm-cm)	1×10^-5
Hőstabilitás	<2500 ℃
Grafit méretváltozás	-10~-20um (referenciaérték)
Bevonat vastagsága	≥20um tipikus érték (35um±10um)

A fentiek tipikus értékek