Tantál-karbid bevonatú grafit alkatrészek

A Semicorex kiváló minőségű tantál-karbid bevonatú grafit alkatrészeket kínál testreszabott szolgáltatással. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, és reméljük, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.

Kérdés küldése

termékleírás

A tantál-karbid bevonatú grafit alkatrészek döntő szerepet játszanak a félvezető gyártási folyamatokban, ahol a precizitás, a megbízhatóság és a zord körülményekkel szembeni ellenállás a legfontosabb. Ezeket a speciálisan kezelt alkatrészeket, beleértve a maratógyűrűket és tégelyeket, úgy tervezték, hogy ellenálljanak a félvezetőgyártás során felmerülő kihívásokkal teli környezeteknek.

A tantál-karbid bevonatú grafit alkatrészek, például a maratógyűrűk kritikus összetevői a félvezetőiparban olyan eljárásokban, mint a kémiai gőzleválasztás (CVD) és a fizikai gőzleválasztás (PVD). Ezek a gyűrűk közvetlenül érintkeznek reaktív gázokkal és magas hőmérsékletű környezettel a maratási folyamat során.

A tantál-karbid bevonatú grafit alkatrészeket vékony tantál-karbid réteggel vonják be. Ez a bevonat kivételes kopásállóságot és védelmet nyújt a korrozív vegyszerek ellen, hosszú élettartamot és egyenletes teljesítményt biztosítva.

A tantál-karbid bevonat növeli a maratógyűrűk keménységét és kémiai stabilitását, megakadályozva a lebomlást és a szennyeződést. Hozzájárul az egységes maratási eredményekhez és a hosszabb működési élettartamhoz is.