Al2O3 vákuumcsuklók

A Semicorex Al₂o₃ vákuumcsukók precíziós mikroporózus kerámia alkatrészek, amelyeket ostyakezeléshez, rögzítéshez és feldolgozási alkalmazásokhoz fejlesztettek ki a félvezető iparban. Fekete alumínium-oxidból készült, 35%-40%ellenőrzött porozitással, rendkívül stabil, tiszta és megbízható közeg a vákuum adszorpciós folyamatokhoz. A Chuck a szubsztrát kerámia feldolgozását egy funkcionális felületre egyesíti, fejlett gyártási technikákkal, hogy a felhasználó törékeny ostya következetes szívási teljesítményt nyújtson a kritikus folyamat lépései során.

Feketealumínium -oxid (Al₂o₃); A fémekkel és polimerekkel összehasonlítva egyedülálló mechanikai szilárdsággal, keménységgel és kémiai ellenállással rendelkezik. A mikropórusos szerkezetet a szabályozott porozitásra optimalizálják, hogy a vákuumfürdő felületén következetes vákuumeloszlást biztosítsanak. Az ostya -chuck teljes felületén a következetes vákuumeloszlás minimalizálja a lokalizált stresszkoncentrációkat, korlátozva az ostya torzulásának, az élforgácsolás és a törés kockázatát. Ahogy az ostya -gyártás továbbra is átmérőjű, és a geometriák és az eszközök törékenyebbé válnak, a folyamat hozama és a javított ostyakezelés megbízhatóságának kritikus követelményei lesznek.

A 35–40% ellenőrzött porozitása a vákuumfürdők kulcsfontosságú jellemzője. Az optimalizált pórushálózat minimalizálhatja a turbulenciát a pórus területéről történő levegő evakuálás során, és fenntarthatja a tartóerőt, miközben megőrzi a mechanikai erőt és a tartósságot. Ezzel szemben a mechanikus bilincsek olyan lemezeket használnak, amelyek lokalizált feszültségpontokat okoznak, és az egyes ostya mechanikai tulajdonságaival szemben működnek. Ezért a mikropórusos alumínium -oxid felülete jobb, ha a ostyákat lapos és nem megfelelően tartja a mechanikai megközelítések során. Ez tökéletes jelöltet biztosít a csúcstechnológiájú félvezető folyamatokhoz, amelyek előnyei vannak a ostya laposának és a sima tartásnak, beleértve a litográfiát, a maratást, a lerakódást és a metrológiát.

Termikus szempontból a fekete alumínium -oxid anyag kiválóan képes fenntartani a méret stabilitását megemelkedett hőmérsékleten. Alacsony hőtágulási együtthatóval a vákuumcsukló még melegítési és hűtési ciklusok során is pontos maradhat, ami kritikus szempont a gyors hőmérsékleti ingadozás miatt, amely gyakran előfordul az ostya -feldolgozási környezetben. Ennek a kerámia keménysége és kopásállósága szintén növeli a Chuck hosszú élettartamát, csökkentve a berendezés -szolgáltatók karbantartásának gyakoriságát és csökkentve a tulajdonjog teljes költségét.

Az alumínium -oxid -kerámia kémiai tehetetlensége újabb jelentős tulajdonság. A félvezető fabs -ban a berendezés alkatrészeinek az agresszív vegyi anyagok, tisztítószerek vagy plazmakörnyezetek tolerálása nélkül kell tolerálniuk a romlás nélkül. A fekete alumínium -oxid kiváló tulajdonságokkal rendelkezik a korrózió, az oxidáció és/vagy a felületi szennyeződés elleni küzdelemhez, és ezáltal megtartja a szerkezet és a szerkezeti/fázisos stabilitást az izgatott működési ciklus időszakaiban. Ez a tulajdonság azt is jelenti, hogy az ostyákat nem vetik alá szennyeződésnek, amely megóvja az áramkört az ezen eszközök teljesítményétől, és bízik a tiszta szoba protokollokban is.

Az Al₂o₃ vákuumcsukók nemcsak kiváló funkcionális teljesítményt mutatnak, hanem a felületi felület is szorosan szabályozva van. A felületet nagy pontosságú megmunkálási és polírozási folyamatokkal hozzák létre, amelyek egyenletes lapát és simaságot eredményeznek, így a finom ostyák karcolások vagy felületi sérülések nélkül tarthatók. Az anyag erősen megtervezett porozitása megfelelő egyensúlyt eredményez a szívás és a felületvédelem között, lehetővé téve az ostya megfelelő tartósságát, miközben elkerüli a vékony, törékeny szubsztrátok esetleges károsodását.

Működési szempontból az Al₂o₃ vákuumcsomók kritikus elemei a kortárs félvezető gyártásban. Ez megkönnyíti az automatizálását, lehetővé téve az ostyák felvételét, elhelyezését, igazítását és feldolgozását, megbízhatóan kielégítve a folyamatkövetelményeket. Az alumínium-oxid fekete színe szintén elősegíti és pragmatikus előnyöket biztosít azáltal, hogy csökkenti a fényvisszaverődést az optikai ellenőrzések és a mérési folyamatok során, különösen a nagy pontosságú optikai berendezések használatakor.

A fejlett kerámia technológia és a jól átgondolt kialakítás kombinálása az Al₂o₃ Vacuum Chucks-ban egy tartós, nagyteljesítményű, nagy teljesítményű megoldást eredményezett a félvezető gyártók ostyakezelési kihívásaihoz. Az Al₂o₃ vákuumcsuklók javítják a termelékenységet a csökkentett ostyaveszteség révén, csökkenti a tartósság miatti leállási időt, és javítja a folyamat stabilitását azáltal, hogy következetes vákuumtartó erővel rendelkezik.

Semicorex al₂o₃ vákuumfürdőkből készült vákuumalumínium -oxidnem csupán egy lámpatest; Ez a precíziós félvezető gyártás kritikus elősegítője. Optimalizált porozitása, kivételes anyagtulajdonságai és robusztus teljesítménye biztosítja a megbízható ostya kezelését a legigényesebb gyártási folyamatokban. A magasabb hozam, a javított folyamat hatékonyságának és a kiváló berendezések teljesítményének elérésére törekvő gyártók számára a fekete alumínium -oxid vákuum Chuck nélkülözhetetlen választás.