Szilícium-karbid tokmányok

Semicorexszilícium-karbid tokmányokezekből készült funkcionális adszorpciós eszközökszilícium-karbid(SiC) kerámia anyag. Főleg félvezetőkben, fotovoltaikában, precíziós gyártásban és más forgatókönyvekben használják, amelyek rendkívül magas követelményeket támasztanak a magas hőmérséklet-állóság, kopásállóság, kémiai korrózióállóság és az anyagok tisztasága tekintetében.

A SiC kerámia anyaga magas hőmérsékletnek ellenáll, és megőrzi szerkezeti stabilitását magas hőmérsékletű környezetben. Kiváló hővezető képessége lehetővé teszi az adszorpció során keletkező hő gyors elvezetését, megakadályozva ezzel a munkadarab túlmelegedését. Az anyag kivételes keménysége alkalmassá teszi durva vagy kemény munkadarabok megfogására. Ezenkívül a SiC kerámia anyag kémiai tehetetlensége ellenáll az erős savak, erős lúgok és szerves oldószerek által okozott korróziónak. Ennek az anyagnak az alacsony szennyeződés-kicsapási teljesítménye elkerüli a szennyeződések szennyeződését és meghosszabbítja a berendezés normál működési idejét, megfelelve a félvezetőipar ultra-tiszta követelményeinek.

A Semicorex szilícium-karbid tokmányok jellemző tulajdonságai

1.Nagy pontosság: simaság 0,3-0,5 μm.

2.Tükör polírozás

3. Ultrakönnyű súly

4. Nagy merevség

5. Alacsony hőtágulási együttható

5. Alacsony hőtágulási együttható

A szilícium-karbid tokmányok forgatókönyvei

Félvezető gyártás

Az ostya átvitele és feldolgozása: Az olyan eljárásoknál, mint a fotolitográfia és a maratás, az ostyát stabilan adszorbeálni kell vákuum környezetben, hogy elkerüljük az elmozdulási hibákat.

Plazma korrózióállóság: A félvezető maratási folyamatban a kiváló korrózióállóság meghosszabbíthatja a termék élettartamát.

Fotovoltaikus cellák gyártása

Szilícium lapka vágás: Adszorbeálja a szilícium lapkákat, hogy ellenálljon a vágási vibrációnak és csökkentse a szilícium lapkák töredezési arányát.

Precíziós optika és elektronikai gyártás

Zafír hordozó feldolgozás: A LED chipek gyártásában használt zafír szubsztrátumok vákuum adszorpciót igényelnek. Az adszorpciós erőnek le kell győznie az aljzat súlyát, és el kell kerülnie a termék felületének karcolódását.

A szilícium-karbid tokmányok kulcsfontosságú fogyóeszközökké váltak a csúcskategóriás gyártás területén, köszönhetően kiváló teljesítményüknek, elősegítve a technológiai fejlődést az olyan iparágakban, mint a félvezetők, a fotovoltaik és a reciziós gyártás.