A személyre szabott porózus kerámia tokmány a kiváló munkadarab befogási és rögzítési megoldás, amelyet kizárólag félvezetőgyártáshoz terveztek. A Semicorex választása azt jelenti, hogy a megbízható minőség, a testreszabási szolgáltatások és a nagyobb termelékenység előnyeit élvezheti.
Testreszabottporózus kerámia tokmányaz alapból és a porózus kerámia lemezből áll. Vákuumos rendszerhez csatlakoztatva az ostya és a kerámia közötti levegő elszívásával jön létre az alacsony nyomású környezet. Vákuum negatív nyomás alatt az ostya szilárdan tapad a tokmány felületéhez, ami végső soron biztonságos és stabil rögzítést és pozicionálást biztosít.
A Semicorex következetesen előtérbe helyezi értékes ügyfeleink alapvető igényeit, miközben előkelő és személyre szabott szolgáltatásokat nyújt. Változatos lehetőségeket kínálunk, amelyek biztosítják, hogy a végső, testreszabott porózus kerámia tokmányok zökkenőmentesen illeszkedjenek a különböző formájú és méretű munkadarabokhoz, ezáltal hatékonyan javítva a berendezések működési hatékonyságát és a gyártási stabilitást.
A specifikációk:
|
Méret |
4 hüvelykes/6 hüvelykes/8 hüvelykes/12 hüvelykes |
|
Laposság |
2μm/2μm/3μm/3μm vagy nagyobb |
|
Porózus kerámia lemez anyaga |
Alumínium-oxid és szilícium-karbid |
|
Porózus kerámia pórusmérete |
35%-50% |
|
Porózus kerámia porozitása |
35%-50% |
|
Antisztatikus funkció |
Választható |
|
Alapanyag |
Rozsdamentes acél, alumíniumötvözet és kerámia (szilícium-karbid) |
A precíziós megmunkálású, testreszabott porózus kerámia tokmány egyenletes adszorpciós erőeloszlást biztosít a munkadarab felületén, hatékonyan megelőzve a munkadarab deformálódását vagy az egyenetlen erőkifejtés okozta megmunkálási pontatlanságokat. Ezenkívül erős kémiai korrózióállóságának és kivételes magas hőmérsékleti ellenállásának köszönhetően a testreszabott porózus kerámia tokmány stabil, hosszú távú működést biztosít kihívásokkal teli és összetett gyártási környezetben.
Alkalmazási forgatókönyvek:
1. Félvezető gyártás: ostya feldolgozás, például ostya vékonyítás, kockázás, köszörülés, polírozás; kémiai gőzfázisú leválasztás (CVD) és fizikai gőzfázisú leválasztás (PVD) eljárás; ion beültetés.
2. Fotovoltaikus cellák gyártása: Szilícium lapka kockáztatása, bevonása és csomagolása fotovoltaikus cellákban.
3. Precíziós megmunkálás: Vékony, törékeny vagy nagy pontosságú munkadarabok befogása és rögzítése.