SiC lapátok

A Semicorex SiC lapátok az ostya "hordozói", amelyek 1000 Celsius-foknál melegebb kemencékbe viszik az ostyákat. Ez a legfontosabb előnyük: nagy tisztaság, magas hőmérsékleti stabilitás, a mechanikai merevség fenntartása a minta extrém környezetben történő szállítása során. A nagy tisztaságú anyagok hatékonyan megakadályozzák, hogy a fémszennyeződések szennyezzék az ostyát; így a magas hőmérsékleti stabilitás isszilícium-karbid, mivel megőrzi a kémiai stabilitást olyan feldolgozási hőmérsékleteken, amelyek megakadályozzák, hogy a fémszennyeződések vagy részecskék kigázosodjanak az ostya szennyeződésétől, így biztosítva a stabil ostyahozamot. Végül,konzolos lapátokkompatibilisek az integrált ostyaátviteli rendszerekkel is, tovább csökkentve az embertől való függőséget és növelve a teljesítményt.

A SiC lapátok a hordozó egyedülálló összetevői, kifejezetten a félvezető lapátok szállítására és kötegelt munkaterhelésbe történő integrálására olyan folyamatokban, mint például a magas hőmérsékletű oxidáció és diffúzió. Nagy tisztasággal készültszilícium-karbid (SiC), a SiC lapátok hőstabilitást, mechanikai szilárdságot és kémiai tartósságot biztosítanak, hogy biztosítsák a stabil szállítást 1000 °C feletti hőmérsékleten. A SiC lapátok az ostyafeldolgozáshoz szükségesek: ez biztosítja a törékeny szubsztrátumok megfelelő kezelését, miközben megőrzi az integritást és a konzisztenciát az oxidációs, diffúziós és lágyítási folyamat során.

A robusztusra és megbízhatóra tervezett SiC lapátok konzolos karok, amelyek ostyahajókat vagy ostyakötegeket tartanak. A lapát megtámasztja az ostyákat, miközben behelyezik vagy eltávolítják őket a folyamatkamrából. A hagyományos anyagok ezeken a magas hőmérsékleteken deformáció, vetemedés vagy kémiai lebomlás következtében meghibásodnak. A szilícium-karbid mechanikai stabilitása és szerkezeti integritása lehetővé teszi, hogy a lapát több hőciklust is túléljen alakja vagy funkciója elvesztése nélkül. Ez a képesség fontos a kemence beállításának megőrzéséhez, annak biztosításához, hogy az ostyák ne sérüljenek meg a folyamat során, és minimalizálják a költséges állásidőt.

A SiC lapátok termikus stabilitását a reaktív gázokkal szembeni kiváló vegyi ellenállás egészíti ki, amelyek általában oxidációs és diffúziós folyamatokban jelennek meg (például oxigén, klór és más agresszív anyagok magas hőmérsékleten). Sok anyag megsemmisül vagy szennyeződik, ha magas hőmérsékletnek és oxigénnek van kitéve. A szilícium-karbid kémiailag inert, és sűrű mikroszerkezete biztosítja, hogy kémiai reakciók ne menjenek végbe, így a lapát szerkezeti integritása és tiszta környezete az ostya számára. Az ebből eredő szennyeződési kockázatot minimálisra csökkentik a félvezetőgyártók, akik a legfejlettebb folyamatcsomópontokon működnek, amelyeknél még a szennyezett nyomelemek is jelentős változásokat idézhetnek elő az eszköz teljesítményében.

A SiC lapátokhoz kapcsolódó mechanikai integritás értéket jelent a kezelési folyamatokban is. A konzolos szerkezeti formához olyan anyagra van szükség, amely elbírja a rétegkötegek súlyát, és nem hajlik vagy ereszkedik meg. A szilícium-karbid nagyon magas modulusa és nagyon nagy keménysége miatt jól figyelembe veszi a szükséges mechanikai szerkezeti funkciókat. A SiC Paddle megőrzi laposságát és szerkezetét még ostyákkal is megtöltve. Ez a kemence és a körülményeinek folyamatos ellenőrzését jelenti a hosszú gyártási időszakok során.